[实用新型]铟镓铝氮外延片的倒装焊结构有效
| 申请号： | 200820112868.0 | 申请日： | 2008-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN201181713Y | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 熊传兵;江风益;王立;王古平;章少华 | 申请（专利权）人： | 晶能光电(江西)有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;B23K20/02;B23K20/14;B23K37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330029江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铟镓铝氮 外延 倒装 结构 | ||
1、一种铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，包括对外延片和基板施加压力的夹合装置、加热装置；所述夹合装置包括两个夹合构件，两个夹合构件之间形成焊接外延片和基板的工作台，其特征在于：所述加热装置为设于所述工作台上或工作台外围的电磁线圈。
2、根据权利要求1所述的铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，其特征在于：所述倒装焊结构还包括对外延片和基板进行定位的定位装置，定位装置设于所述工作台上。
3、根据权利要求1所述的铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，其特征在于：所述电磁线圈为盘绕在所述夹合装置外围的圆柱状线圈，或者为设于所述工作台外围的平面状线圈。
4、根据权利要求3所述的铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，其特征在于：所述电磁线圈为设有冷却液体和气体通道的空心线圈。
5、根据权利要求1所述铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，其特征在于：所述夹合装置及其工作台设于真空装置内。
6、根据权利要求5所述的铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，其特征在于：所述电磁线圈设于所述真空装置外部。
7、根据权利要求1所述铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，其特征在于：所述夹合装置包括一个施压构件和一个承压构件，所述施压构件与一个万向节连接。
8、根据权利要求2所述的铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，其特征在于：所述定位装置包括一个设在所述工作台上的定位环。
9、根据权利要求8所述的铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，其特征在于：所述定位装置还包括置于定位环内的绝缘定位盘；所述定位盘包括一个与所述两个夹合机构中任一个接触的单盘，或两个分别与所述两个夹合机构接触的上定位盘和下定位盘。
10、根据权利要求1所述的铟镓铝氮外延片的倒装焊结构，其特征在于：所述两个夹合构件中至少一个夹合构件中设有液体或气体冷却管装置。
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