[实用新型]模组式真空装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空装置，特别是指一种模组式溅镀用真空装置。

背景技术

一般溅镀用真空装置大致包括一个固定于地面的底座，及一个置放于底座上的溅镀用真空腔体，目前真空装置的安装方式，是先在预定地点架设该底座，然后再将真空腔体置放固定于底座上，但是上述真空装置安装后，由于真空腔体体型都相当大且笨重，且无法通过推移底座来调移真空腔体，所以当要调移真空装置时，势必得再次将真空腔体先拆离底座，并将固定于地面的底座调移定位后，再将真空腔体置放固定于底座上，相当不便。

再加上目前溅镀用真空装置于送交客户前，通常得在生产厂房内先行安装测试后，才能将真空装置拆解运送给客户，并于客户端再次进行安装测试，所以整个真空装置自生产厂房至客户端间的搬运安装会相当麻烦且费时。

实用新型内容

本实用新型的目的是在提供一种方便搬移安装的模组式真空装置。

本实用新型模组式真空装置，包括一个机架、一个安装固定于机架上的真空腔体及多个固定于机架上的轮座单元。轮座单元分别包括一个安装固定于机架底面的固定座，及一个可枢转滚动地枢设于固定座中且往下突伸出固定座外的滚轮。

本实用新型所述的模组式真空装置，该机架包括一个环状的底座、多个左右间隔对称地安装固定于该底座的顶面的定位块、二个左右间隔地固定于该底座上且间隔位于所述定位块后方的连结臂，及二个左右间隔且斜上往后延伸地分别固接于所述连结臂与该底座间的顶撑臂，该真空腔体以其底面往下跨接固定于所述定位块上，并以其后侧面往后跨抵固定于所述连结臂。

本实用新型所述的模组式真空装置，所述定位块分别具有一个前高后低的倾斜状第一定位面，所述连结臂分别具有一个自该底座斜上往前倾斜延伸的延伸段，及一个自该延伸段顶端弯折往前延伸的连结段，且该连结段具有一个斜上往后倾斜延伸的第二定位面，该真空腔体呈往后上方倾斜延伸状，且以其底面倾斜靠抵固定于所述第一定位面，而以其后侧面倾斜靠抵固定于所述第二定位面上。

本实用新型所述的模组式真空装置，所述顶撑臂固接于所述延伸段与该底座间。

本实用新型所述的模组式真空装置，该底座具有二个左右间隔且前后延伸的安装杆，所述轮座单元分别设置于安装杆的前端部、后端部下方，且每一个轮座单元还包括多个往下贯穿螺接于相对应的安装杆与固定座间的悬吊固定螺丝，及多个螺接穿设于所述安装杆并往下顶抵于该固定座的顶面且可被调转而驱使所述安装杆相对固定座该上下位移的高度微调螺丝。

本实用新型的有益效果在于：通过将该真空腔体安装固定于机架上，且于该机架底部安装轮座单元的模组式结构设计，使得该真空装置安装后，可直接通过推动机架的方式，方便调移真空装置，且此模组化结构设计，可省去事先安装测试后再拆解，然后再于客户端重新安装的步骤，相当方便实用。

附图说明

图1是本实用新型模组式真空装置的一个实施例的立体图；

图2是该实施例的左侧视图；

图3是该实施例的局部前侧视放大图；

图4是图1的局部立体放大图；

图5是该实施例的右侧视局部放大图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

如图1至图3所示，本实用新型模组式真空装置的实施例包括一个机架3、一个安装固定于机架3上的溅镀用真空腔体4，及四个分别安装固定机架3底面的轮座单元5。

该机架3包括一个环状的底座31、四个间隔对称地分别安装固定于底座31顶面的定位块32、二个左右间隔地固接于底座31上的连结臂33，及二个分别安装固定于底座31与所述连结臂33间的顶撑臂34。

该底座31具有二个左右间隔且前后延伸的安装杆311，所述定位块32前后左右间隔对称地分别安装固定于安装杆311前半段顶面，且前方定位块32的高度高于相对后方的定位块32的高度，每一个定位块32具有一个前高后低的倾斜状第一定位面320，且前后间隔的两定位块32的第一定位面320位于同一条倾斜延伸线300上。

所述连结臂33左右间隔地安装固定于安装杆311后端部，且分别具有一个自安装杆311斜上往前倾斜延伸的延伸段331，及一个自延伸段331顶端往前弯折延伸的连结段332，且该连结段332且具有一个往后上方倾斜延伸的第二定位面330。所述顶撑臂34倾斜地分别固接于连结臂33的延伸段331与安装杆311中间部位间。