[实用新型]阀门板启闭机构

说明书

技术领域

本实用新型系一种阀门板启闭机构，其特别系关于一种可让阀门板在开启及关闭时，减少其作动功率耗损，使其启闭效率更佳、速度更快之启闭机构。

背景技术

一般在连续式的真空镀膜设备中，由于各个腔体的功能有所不同，其所需要的真空度亦有所差异，因此腔体与腔体之间需要架设闸门阀将腔体予以隔开，避免各腔体于作业时产生相互干扰的情形。

然而，如图1及图2所示，目前习用之真空设备的闸门阀1具有一贯穿该闸门阀本体11一侧之转动轴体12以及一设置于该转动轴体12之阀门板13，该转动轴体12位于该闸门阀本体11外的一端连接有一摆臂14，该摆臂14异于该转动轴体12的一端则连接于一气缸15之连接轴151，另外，该闸门阀本体11于该转动轴体12下方之外侧设有一支撑架16，该支撑架16设有二凸块161，该气缸15系可摆动地设置于该二凸块161之间。

该习用闸门阀1系藉由该气缸15作动后，该连接轴151往上突伸以带动该摆臂14旋转，同时连动该转动轴体12旋转以使得该阀门板13开启，在该气缸15作动以使得连接轴151上移的过程中，该摆臂14系以该转动轴体12为中心作圆周运动，因此该气缸15会以该凸块161为中心随之偏摆，偏摆角度介于20度至30度之间。

然而，该阀门板13一般的开启角度为90度，在前半段的开启过程中，该摆臂14旋转45度，该气缸15以该凸块161为中心朝一方向偏摆，但在后半段的开启过程中，该气缸15必须反向偏摆回到原本的位置，但是习用闸门阀1并未具备使该气缸15往回偏摆的机制，因此该气缸15必须耗费更大的功率进行顶升的动作，才得以使该摆臂14完成后半段45度的旋转，以完成该阀门板13的开启动作，故产生作动功率耗损过多及效率不佳的缺失，也因此使得该阀门板13开启的速度过于缓慢。

发明内容

本案之申请人，鉴于上述习用阀门板开启与关闭效率不佳、速度缓慢的缺失，因而投注心力研发出本实用新型之阀门板启闭机构，以期解决上述问题。

本实用新型之主要目的在于提供一种阀门板启闭机构，其特别系关于一种可让阀门板在开启及关闭时，减少其作动功率耗损，使其启闭效率更佳、速度更快之启闭机构。

为达到上述目的，本实用新型系采取以下之技术手段予以达成，其中本实用新型之阀门板启闭机构系设置于一具有阀门板传动心轴之闸门阀一侧，包括有：

气缸，系具有一活塞杆以及连接于该活塞杆之一端之连接轴；

摆臂固定片，系连接于该连接轴异于该活塞杆之一端；

摆臂，其一端系可旋转地连接于该摆臂固定片异于该连接轴之一端，另一端则固定连接于该阀门板传动心轴；

藉由上述之结构，当气缸作动使该活塞杆突伸时，该连接轴上移，该摆臂固定片及该摆臂即进行连杆运动，同时，该摆臂以该阀门板传动心轴为支点摆动，进而使该阀门板传动心轴旋转以带动一阀门板开启，如此一来，藉由该摆臂固定片及摆臂的连杆运动，即可将气缸固定不动，改善上述习用闸门阀因以偏摆式气缸提供动力，造成作动功率耗损过多使得阀门板存在开启效率不足、速度缓慢的缺失；此外，本实用新型之气缸系采用市售气压缸，无须另外订制，对整体制程而言亦可收降低设备成本之效。

附图说明

图1系习用闸门阀之立体图；

图2系习用闸门阀之作动状态示意图；

图3系本实用新型之使用状态前视图；

图4系本实用新型之关闭状态示意图；

图5系本实用新型之半开启状态示意图；

图6系本实用新型之开启状态示意图。

【主要组件符号说明】

1     习用闸门阀              11    闸门阀本体

12    转动轴体                13    阀门板

14    摆臂                    15    气缸

151   连接轴                  16    支撑架

161   凸块                    2     阀门板启闭机构

21    气缸                    211   活塞杆

212   连接轴                  2121  连接轴本体

2122  关节轴承                2122A 轴部

2122B 环部                    22    摆臂固定片