[实用新型]一种真空油扩散泵有效
| 申请号： | 200820122622.1 | 申请日： | 2008-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN201265565Y | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 樊旗根;张杭海;张蔚 | 申请（专利权）人： | 宁波科宁达工业有限公司;北京中科三环高技术股份有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00;F04F9/08 |
| 代理公司： | 北京王景林知识产权代理事务所 | 代理人： | 王景林;梁 洁 |
| 地址： | 315803浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 扩散 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空油扩散泵，包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口，其特征在于，还包括测温及其控制系统。
2.如权利要求1所述的真空油扩散泵，其特征在于，所述测温及其控制系统包括测温热电阻，该测温热电阻由陶瓷护管套装，并由耐温材料封闭密封。
3.如权利要求1所述的真空油扩散泵，其特征在于，所述测温及其控制系统包括温控仪，该温控仪与可控硅模块、扩散泵加热电热丝、和测温热电阻电连接，可控硅模块与扩散泵加热电热丝电连接，扩散泵加热电热丝与测温热电阻电连接。
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