[实用新型]磁控反应釜用线圈无效
| 申请号： | 200820123074.4 | 申请日： | 2008-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN201371052Y | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 吴玉凯;卢建军;史红波;洪先军;魏冉;朱宛君 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应 线圈 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控反应釜用线圈，其特征在于线圈是将铜漆包线缠绕于固定的圆筒状支架上，由5-30组线圈组合而成。
2.根据权利要求1所述的磁控反应釜用线圈，其特征在于每组线圈可以分5-30层缠绕，也可以分5-30段缠绕。
3.根据权利要求2所述的磁控反应釜用线圈，其特征在于每组线圈用隔板隔开。
4.根据权利要求3所述的磁控反应釜用线圈，其特征在于隔板为中空的水冷却器。
5.根据权利要求3所述的磁控反应釜用线圈，其特征在于隔板为工程塑料、碳钢、铜或不锈钢材料。
6.根据权利要求1所述的磁控反应釜用线圈，其特征在于圆筒状支架为工程塑料、碳钢、铜或不锈钢材料。
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