[实用新型]高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统

权利要求书

1、一种高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统，其特征在于，所述系统包括成膜腔，在所述成膜腔内设置有真空吸盘，所述真空吸盘与旋转马达的转子相连接；在所述成膜腔内部还设置有加热装置；所述成膜腔通过管路分别与外部的二氧化碳钢瓶、反应气体钢瓶以及成膜液体罐相连通；此外，所述成膜腔还连接有与外部连通的排气管。

2、根据权利要求1所述的高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统，其特征在于，所述加热装置为电阻丝加热装置，所述电阻丝加热装置包括一段电阻丝以及反射透镜。

3、根据权利要求1所述的高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统，其特征在于，在所述成膜腔内设置有温度传感器。

4、根据权利要求1所述的高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统，其特征在于，在所述成膜腔内设置有压力传感器。

5、根据权利要求1所述的高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统，其特征在于，所述旋转马达连接有转速显示表。

6、根据权利要求1所述的高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统，其特征在于，在所述成膜腔外部设置有温控腔，所述温控腔将所述成膜腔和所述旋转马达封装在其内。

7、根据权利要求6所述的高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统，其特征在于，在所述温控腔内设置有水循环冷却装置。

8、根据权利要求1所述的高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统，其特征在于，在所述成膜腔外壁设置有可视窗。

9、根据权利要求8所述的高压二氧化碳超临界旋涂成膜系统，其特征在于，所述可视窗为蓝宝石可视窗。