[实用新型]300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置

说明书

技术领域

本实用新型属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是一种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体的炉丝引线固定装置。

背景技术

氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现在的氧化炉，大都是卧式结构，其温度均匀性及控温精度不够理想，操作和控制不够精确灵活，生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm硅片的生产需求。因此，需要提出一种结构改进的氧化炉。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，该装置结构新颖、简单适用，连接牢固。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，其特征在于：设有内固定板、中固定板、外固定板，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外固定板由绝缘耐热材料制成，通过螺栓固定在氧化炉炉体的内壁上。

本实用新型与以往炉体的炉丝引线固定方式相比，具有以下优点：炉丝引线固定位置准确，不会产生蹿动，不会在搬运炉体或连接导线时，由于外力的作用而使炉丝引线发生位移。由于采用绝缘、绝热材料进行固定，所以炉体的安全性能得到很大提高。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1中B-B向视图；

图3是图1中A-A向视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明：实施例：参见附图，300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，设有内固定板1、中固定板2、外固定板3，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线4穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔2.1和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝6焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外固定板由绝缘耐热材料制成，通过螺栓5固定在氧化炉炉体的内壁上。