[实用新型]换靶台车

说明书

技术领域

本实用新型涉及换靶台车，尤其涉及一种用于溅镀设备的溅镀靶材更换时，可将溅镀阴极固定后作180度翻转，以便于溅镀靶材更换的换靶台车。

背景技术

目前用于真空镀膜制程的溅镀设备，其溅镀阴极本身具备相当的重量，每当需要进行溅镀靶材更换时，必须耗费人力进行搬动、翻转的动作。

其中，采用人力将该溅镀设备的溅镀阴极进行翻转的作法存在有诸多缺点，尤其是在溅镀阴极的体积大、重量重的情形下，将可能导致翻转不便、速度缓慢、效率不足等缺陷；此外，翻转过程中若有不当搬动而造成碰撞，或是因为重量过重使得操作者不慎摔落该溅镀阴极，将造成设备毁损而徒增生产成本；更有甚者，作业人员在翻转过程中不堪重量负荷，不慎遭该溅镀阴极砸伤而造成工程安全意外。

因此，倘若可采用辅助设备协助溅镀设备的溅镀阴极的翻转，将可改善上述因翻转作法所导致的缺陷。

发明内容

鉴于上述溅镀设备的溅镀阴极以人力翻转导致翻转极为不便的缺陷，本实用新型提供了一种换靶台车，以期解决上述问题。

本实用新型的主要目的在于提供一种换靶台车，该换靶台车在溅镀设备的溅镀靶材需要更换时，可将溅镀阴极固定后作180度翻转，以便于溅镀靶材的更换。

为达到上述目的，本实用新型采取以下技术手段予以达成，其中本实用新型的换靶台车包括有：

支撑座体，为由复数个框体与复数个杆体所组成的立体框架；

翻转单元，设置于所述支撑座体上，具有一翻转框体以及设置于所述翻转框体两相对边以连结该支撑座体的旋转装置，该旋转装置具有一固定于所述支撑座体的心轴固定座以及一固定于所述翻转框体并穿设于所述心轴固定座的转动心轴，该转动心轴异于所述翻转框体的一端设有一把手；

复数个固定单元，设置于所述翻转框体上异于所述旋转装置的两相对边。

通过上述结构，当溅镀设备的溅镀阴极需要进行靶材更换时，作业人员只要利用器具将该溅镀阴极搬运至该翻转单元的翻转框体上并放置并定位后，利用设置于该翻转框体上的固定单元将溅镀阴极固定，继而操作该翻转单元的旋转装置，即可取代人力将溅镀阴极翻转180度，进而进行更换溅镀靶材的动作，从而解决人工翻转溅镀设备的溅镀阴极所带来的缺陷。

附图说明

图1为本实用新型的立体图。

图2为本实用新型的局部放大立体分解图。

图3为本实用新型中旋转装置的局部放大立体图。

图4为本实用新型放置溅镀阴极的前视图。

图5为本实用新型放置溅镀阴极的侧视图。

图6为本实用新型放置溅镀阴极的俯视图。

主要组件符号说明

1：换靶台车

11：支撑座体

12：翻转单元

121：翻转框体

1211：固定片体

122：旋转装置

1221：心轴固定座

1222：转动心轴

1222A：卡制凹槽

1223：把手

13：固定单元

14：第一定位装置

141：第一定位块

142：固定单元

15：第二定位装置

151：第二定位块

152：固定单元

16：卡制装置

161：凹型基座

162：卡制凸块

162A：卡制部

163：控制钮

17：挡板

2：溅镀阴极

21：阴极本体

22：溅镀靶材

具体实施方式

参见图1和图2，本实用新型的换靶台车1包括：

支撑座体11，为由复数个框体与复数个杆体所组成的立体框架；

翻转单元12，设置于支撑座体11上，该翻转单元12具有一翻转框体121以及设置于该翻转框体121两个相对边以连结支撑座体11的旋转装置122，该旋转装置122具有一固定于支撑座体11的心轴固定座1221以及一固定于翻转框体121并穿设于心轴固定座1221的转动心轴1222，该转动心轴1222异于翻转框体121的一端设有一把手1223；

复数个固定单元13，设置于翻转框体121上异于旋转装置122的两个相对边。