[实用新型]一种翻转台车

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种翻转台车，特别涉及一种用于对溅镀设备的门板与阴极进行保养维修，或者更换靶材时，可将该门板、阴极或靶材固定后作180度翻转，以便于维修保养或更换的翻转台车。

背景技术

目前用于真空镀膜工艺的溅镀设备，其门板及溅镀阴极(简称为阴极)本身具备相当的重量，当需要维修保养或更换溅镀靶材(简称为靶材)时，必须耗费人力进行搬动和翻转。

其中，采用人力将该溅镀设备的门板或阴极进行搬动和翻转的做法存在有较多缺点，尤其是在翻转物件重量过重的情形下，将可能导致翻转不便、速度缓慢、效率不足等缺点；此外，翻转过程中还会因为搬动不当而造成碰撞，或是因为翻转物件重量过重使得操作者不慎摔落该门板、阴极或靶材，将造成溅镀设备毁损而徒增生产成本；而且，由于在翻转过程中，操作者常不堪重量负荷，容易遭该门板、阴极或靶材砸伤而造成工伤意外。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种翻转台车，采用辅助设备协助溅镀设备的门板、阴极或靶材的翻转，解决上述溅镀设备的门板、阴极或靶材以人力翻转极为不便的缺点。

本实用新型的主要目的在于提供一种翻转台车，特别提供一种在溅镀设备的门板或阴极需要保修，或者更换靶材时，可将门板、阴极或靶材固定后作180度翻转，以便于维修保养或更换的翻转台车。

为达到上述目的，本实用新型采取以下的技术方案，其中本实用新型的翻转台车包括有：

支撑座体，由多个框体与多个杆体组成的立体框架；

翻转单元，设置于该支撑座体上，具有一翻转框体以及设置于该翻转框体两相对边以与该支撑座体连结的旋转装置；

多个固定单元，设置于该翻转框体异于设置该旋转装置的另外两相对边。

由上述技术方案可见，当溅镀设备的门板或阴极需要进行维护保养，或者靶材需要更换时，操作者只要将该门板、阴极或靶材搬运至该翻转单元的翻转框体上并放置定位后，利用设置于该翻转框体上的固定单元将该门板、阴极或靶材予以固定，继而操作该翻转单元的旋转装置，即可取代人力将该门板或阴极或靶材翻转180度，进而进行维修保养或更换的操作，从而解决人工翻转溅镀设备的门板或阴极或靶材所带来的缺点。

附图说明

图1为本实用新型翻转台车的立体结构示意图。

图2为本实用新型翻转台车的局部放大立体结构分解示意图。

图3为本实用新型翻转台车的旋转装置的局部放大立体结构示意图。

图4为本实用新型翻转台车放置门板的局部放大立体结构分解示意图。

图5为本实用新型翻转台车放置门板的立体结构示意图；

图6为本实用新型翻转台车放置门板的侧视结构示意图；

图7为本实用新型翻转台车的门板翻转的侧视结构示意图。

附图中的标号说明

(1)、翻转台车                        (11)、支撑座体

(12)、翻转单元                       (121)、翻转框体

(122)、旋转装置                      (1221)、涡轮减速机

(1222)、螺旋齿轮               (1223)、转轮

(1224)、转轴                   (1225)、螺旋齿轮

(13)、固定单元                 (14)、定位块

(15)、定位销                   (151)、通孔

(16)、安全销

(2)、门板                      (21)、定位孔

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型作进一步详细说明。

请参考图1至图3所示，本实用新型的翻转台车(1)包括：

支撑座体(11)，由多个框体与多个杆体组成的立体框架；

本实施例中，多个包括两个或多于两个。

翻转单元(12)，设置于支撑座体(11)上，其具有一翻转框体(12

1)以及设置于翻转框体(121)两相对边以与支撑座体(11)连结的旋转装置(122)；

多个固定单元(13)，设置于翻转框体(121)异于设置旋转装置(1

22)的另外两相对边。