[实用新型]热堆式红外线检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及具有红外线透过区域的选择性的热堆式红外线检测装置。

背景技术

以往所使用的一般的热堆式红外线检测装置，由以仅是不具有红外线透过区域的选择性的硅等基材的非涂敷硅构成的光学构造，或者向硅基材面利用蒸镀等技术施加了蒸镀涂敷的具有红外线透过区域的选择性的光学构造来提供。

然而，在使用热堆式红外线检测装置求出检测温度时，当检测对象物时需要进行检测元件及光学系统的设计，有时存在用在一般的硅等的平面滤光器上的光学设计无法满足需要的情况。

于是，将硅等透过红外线的基材加工成平凸状，并选择具有作为透镜的光学性能的光学系统，从而可进行以平面滤光器没能满足的光学设计。

而且，根据用途，在使用该热堆式红外线检测装置进行温度检测时，为了防止太阳光等干扰光、车头灯等强力的可见光能量所引起的误检测，需要选择人体辐射的远红外线的波长带区域的能量并使其透过。

作为其对策，一般为了将红外线透过区域的能量选择性地导入热堆传感器内部，在平面滤光器、平凸透镜上通过蒸镀等技术来施加蒸镀涂敷。作为使红外线透过的波长，广泛使用5μm通过特性和8～14μm带通特性。

在现有的方法中，为了对实施了利用非涂敷硅平凸透镜的光学设计的热堆式红外线检测装置，作为太阳光等干扰光、车头灯等强力的可见光能量等的外来干扰对策而追加具有红外线透过区域的选择性，需要对非涂敷硅平凸透镜表面实施具有红外线透过区域的选择性的蒸镀涂敷。但是，就这种对非涂敷硅平凸透镜表面实施具有红外线透过区域的选择性的蒸镀涂敷的工序而言，虽然平面滤光器可利用蒸镀等技术在薄片状态下实施蒸镀涂敷，但是硅平凸透镜在形成形状后，为了对表面实施蒸镀涂敷，需要向与非涂敷硅平凸透镜形状一致的蒸镀用的工序专用的夹具一个个固定非涂敷硅平凸透镜。因此，存在工时提高、硅平凸透镜向蒸镀炉的设置台数的制约、以及透镜曲面的蒸镀涂敷而受到成品率的影响，在成本方面存在昂贵的问题。

图3表示现有的通过光学设计而具备了对非涂敷硅平凸透镜的表面实施了具有红外线透过区域的选择性的蒸镀涂敷的5μm通过蒸镀涂敷硅平凸透镜的热堆式红外线检测装置的斜视方向概略图。图4表示内部截面构造概略图。

实用新型内容

本实用新型的特征在于，没有硅平凸透镜侧的蒸镀涂敷，在非涂敷硅平面滤光器上实施蒸镀涂敷，通过组合蒸镀涂敷平面滤光器和非涂敷硅平凸透镜，使其具有红外线透过区域的选择性。而且，其特征在于，并不是非涂敷硅平凸透镜而是在作为另一部件组合的平面滤光器上，将5μm通过特性或8～14μm带通特性利用蒸镀等技术实施蒸镀涂敷，从而例如从4英寸薄片状态切割成任意尺寸而使用。

本实用新型具有以下效果。

本实用新型通过在非涂敷硅平凸透镜上组合蒸镀涂敷平面滤光器，可得到与蒸镀涂敷硅平凸透镜同等的检测区域。而且，可以阻挡太阳光等干扰光、车头灯等强力的可见光能量等的外来干扰，在非涂敷硅平凸透镜和蒸镀涂敷平面滤光器的组合中，可得到与蒸镀涂敷硅平凸透镜同等的效果。

另外，并不是对非涂敷硅平凸透镜的蒸镀涂敷，而是通过对例如4英寸薄片状态的硅平面滤光器利用蒸镀等技术来实施蒸镀涂敷，无需像硅平凸透镜那样一个个进行固定，在蒸镀等工序中能以薄片状态进行固定，从而能够减少工时以及减少蒸镀炉内的空间的浪费。而且，由于以薄片状态在整个面上进行蒸镀涂敷，因此能有效地切割成任意的尺寸且能降低成本。

附图说明

图1是作为涉及本实用新型的最基本的实施例的具有红外线透过区域的选择性的热堆的光学设计构成图的斜视方向概略图。

图2是图1的内部构造剖视图。

图3是现有的一般的热堆的光学设计构造图的斜视方向概略图。

图4是图3的内部构造剖视图。

图5是模式地表示热堆式红外线检测器上的所投影的检测区域分布的概略图。

图6是作为涉及本实用新型的其他实施例的具有红外线透过区域的选择性的热堆的光学设计另一构造构成的斜视方向概略图。

图7是图6的内部构造概略图。

图8是作为涉及本实用新型的其他实施例的具有红外线透过区域的选择性的热堆的光学设计另一构造构成的斜视方向概略图。

图9是图8的内部构造概略图。

图10是作为涉及本实用新型的其他实施例的具有红外线透过区域的选择性的热堆的光学设计另一构造构成的斜视方向概略图。

图11是图10的内部构造概略图。