[实用新型]平面显示器用玻璃基板的外部机械研磨装置

权利要求书

1、一种平面显示器用玻璃基板的外部机械研磨装置，其特征在于其包括：

一处理室(20)；

一基板保持具(30)，该基板保持具(30)夹持上述玻璃基板(10)设置在处理室(20)内；

多个喷嘴(40)，该喷嘴(40)具有喷射孔(41)，该喷射孔(41)，向着被上述基板保持具(30)夹持的上述玻璃基板(10)的外表面，喷出溶出上述玻璃基板(10)外表面材料的溶出液(L)；

一溶出液供给系统(50)，对上述该些喷嘴(40)供给附加有本身重量所造成的加速度的溶出液(L)；以及

一移动机构，承载上述玻璃基板(10)，且相对于喷嘴(40)的喷射孔(41)移动。

2、根据权利要求1所述的平面显示器用玻璃基板的外部机械研磨装置，其特征在于其中所述的喷嘴(40)设置在被基板保持具(30)所夹持的一对玻璃基板(10)的两侧。

3、根据权利要求1所述的平面显示器用玻璃基板的外部机械研磨装置，其特征在于其中所述的喷嘴(40)的喷射孔(41)到上述玻璃基板(10)外表面为止的距离在5mm至100mm的范围内。

4、根据权利要求1所述的平面显示器用玻璃基板的外部机械研磨装置，其特征在于其中所述的各喷射孔(41)以等间距设置，且从各喷射孔(41)到上述玻璃基板(10)外表面的距离相同。