[实用新型]一种用于加热器的断路侦测器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种断路侦测器，特别是涉及晶片生产工艺中用于烘干晶周的加热器的断路侦测器。

背景技术

用于晶周清洗工艺的加热器的主要作用是让机台的腔中产生70℃的恒温，从而烘干晶周。如图1所示，每个机台上共7根加热器6，当晶周清洗需要烘干时，机台给7根加热器供208VAC的电，让它们加热烘干，烘干后机台断掉7根加热器的208VAC的电，继续做其他的动作。由于加热器6是耗材，且运行于高功率大电流环境下，因此很容易发生烧断现象。

现有的机台程序设定为7根加热器6在相同加热时间内要保持固定的功率。当某个时间段突然烧断其中的一根或几根的话，但机台仍要保持原来的固定功率输出，因此剩下的几根未断的加热器6将会运行于更高的功率下，当超过他们额定的功率后，也将很快地相继烧断。

由于机台目前没有加热器6烧断的侦测电路，只有当加热器6全部烧断，晶周在机台程序设定的时间内无法烘干时，工程师才会知道，这样一方面增加了生产成本，同时还使工程师陷入紧急停机的窘况。因此，需要提出一种用于及时监测加热器是否断路的侦测器。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提出一种用于加热器的断路侦测器，在不改变机台本身线路的情况下，通过侦测器来侦测每根加热器内电流的有无，从而判断该加热器是否烧断。

为了达到本实用新型的上述及其他目的，本实用新型提出一种用于加热器的断路侦测器，其包括电流转换器、继电器、蜂鸣器、至少两个发光二极管，其中，电流转换器和继电器依次串联，加热器与电流转换器可拆分地电连接；继电器在加热器工作时或加热器被供电却发生断路时分别选通与第一发光二极管连接或与蜂鸣器和第二发光二极管连接。

作为优选，上述电流转换器为钩式电流转换器。

作为优选，上述继电器为双列直插式单稳态电磁继电器。

作为优选，上述断路侦测器还包括整流电路，上述电流转换器通过该整流电路与继电器连接。

作为优选，用于每根加热器的各断路侦测器共用蜂鸣器与第一发光二极管。

作为优选，上述第一发光二极管为绿光二极管，上述第二发光二极管为红光二极管。

作为优选，上述加热器在晶周清洗烘干时被供电，上述断路侦测器启用；加热器无供电时，上述断路侦测器停用。

本实用新型的断路侦测器在机台中的加热器被加电的情况下进行工作，在不改变机台本身线路的情况下，可以利用断路侦测器来侦测每根加热器内是否有电流，从而判断该加热器是否烧断。当发生烧断问题时，通过蜂鸣器和指示灯来提醒使用者及时更换烧坏的加热器，从而避免其他加热器因电流过载而烧毁的现象，即降低了生产成本，也避免了工程师陷入紧急停机的窘况。

附图说明

图1是现有技术中用于烘干晶周的加热器的电路示意图；

图2是根据本实用新型的用于加热器的断路侦测器的一个实施例的电路示意图；

图3是根据本实用新型的用于加热器的断路侦测器的另一实施例的电路示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。从以下对附图的详细说明中，本实用新型的特征、优点和效果将显而易见。

参见图2，一种用于加热器的断路侦测器，其包括：电流转换器1、继电器2、蜂鸣器4、至少两个发光二极管，在本实施例中，用于一根加热器6的断路侦测器具有两个发光二极管即第二发光二极管5和第一发光二极管3，其中电流转换器1和继电器2依次串联，加热器6与电流转换器1可拆分地电连接；继电器2通过开关21选择性地与蜂鸣器4和第二发光二极管5连接或与第一发光二极管3连接：当加热器6正常工作时，继电器2通过开关21与第一发光二极管3导通，该第一发光二极管3发光，蜂鸣器4不响，第二发光二极管5不发光；当加热器被供电却发生断路故障时，继电器2通过开关21与蜂鸣器4和第二发光二极管5导通，第一发光二极管3熄灭，蜂鸣器4发出响声，第二发光二极管5发光。该第一发光二极管3和第二发光二极管5的发光颜色可根据需要选择，在本实施例中，该第一发光二极管3为绿光二极管，第二发光二极管5为红光二极管。