[实用新型]酸液供应系统的气泡消除装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气泡消除装置，特别是涉及一种应用于酸液供应系统中的气泡消除装置，其可有效地减少在进行滴定时所取得的样品中的气泡含量，以有效地增进酸液供应系统中酸液供应的精准度。

背景技术

在一般的流体系统中，由于在输送所欲传递的溶液时，必须使用泵提供流体压差，进而产生流动现象的驱动力，然而在液体输送的过程中，由于所输送的液体本身在室温及常压下，即会产生对气体的吸收现象，在一般的正常压力状况下，这些溶解于液体中的气体，由于受到外界气压的作用，因此并不会产生释出于所欲传递的溶液液体中的现象，然而，如同前述的状况，在需要使用泵作为提供流体压差的一般流体系统中，由于管线本身所产生的密闭性，以及泵提供流体压差所产生的压力变化，使得平常溶于所欲传递的溶液液体中不会产生变化影响的这些气体，便有可能造成在溶液中析出小气泡的现象。

在一般的大流量流体系统中，由于气泡本身的产生对于流量产生的影响，几乎小到可以被忽略，因此前述的气泡生成也就不致于产生太大的问题，但是在要求高精密的半导体蚀刻程序(即制程，本文统称为程序)中，若所欲传递的酸液量，受到气泡的影响而产生误差，亦或是因气泡所产生的量过多，造成酸液中所具有的杂质受到不断的搅动，造成在进行酸液滴定的取样样品中存在有过多气泡而使后续的滴定产生误差，都可能对于利用酸液作为蚀刻工具的蚀刻程序产生不良的影响，进而影响产品的良率，造成瑕疵，因此，如何在酸液供应系统中，有效地根据不同酸液的种类，以及其它可能产生干扰的外在因素，如温度、湿度、压力变化等，以及不同情况下所可能产生的气泡现象，能够在取样管线中减少取样中的气泡含量，便成为对供应流体的流量有精确要求的酸液供应系统必须充分改善的重要课题。

由此可见，上述现有的气泡消除装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型的酸液供应系统的气泡消除装置，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

有鉴于上述现有的气泡消除装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的酸液供应系统的气泡消除装置，能够改进一般现有的气泡消除装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。

发明内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有的气泡消除装置存在的缺陷，而提供一种新型的酸液供应系统的气泡消除装置，所要解决的技术问题是使其借着微泵对于酸液供应系统中所供给的酸液进行加速度与减速度的控制，利用不同速度的流体推动气泡通过阀件的能力不同的特性，有效将气泡阻隔在取样阀件前，将取样样品中的气泡降到最低，取样后再藉由高速的流体排除阻隔在阀件前的气泡，非常适于实用。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种酸液供应系统的气泡消除装置：将定量阀件连接于管线以控制流体进出流量并定量，且于管线的另一端连接微泵以控制该管线中流体的加速或减速，同时在定量阀件的出口处另外连接取样装置用以在该定量阀件中取得该流体试样的取样装置。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施来进一步实现。

前述的酸液供应系统的气泡消除装置，其中所述的取样装置连接有取出单一或不同酸液混合物的定量阀件出口。

前述的酸液供应系统的气泡消除装置，其中所述的微泵装设有加减或流速的控制阀。

前述的酸液供应系统的气泡消除装置，其中所述的定量阀件的出口处连接有针筒、试管、管线或检测仪器的样品容器。

前述的酸液供应系统的气泡消除装置，其中所述的取样装置结合有检测PH值或金属离子浓度的检测装置。

本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。经由以上可知，为了达到上述目的，本实用新型提供了一种酸液供应系统的气泡消除装置，其包含了一组定量阀件，其中该定量阀件的功能在于控制酸液供给管线、取样管线以及其它管线的酸液进出流量，除了本身具有开关阀的功能之外，亦同时具有定量取样的功能，可以依不同取样方法以及待测酸液成分的变化，有效地控制出所需要的流量。