[实用新型]真空溅镀设备的传动装置无效
申请号: | 200820135011.0 | 申请日: | 2008-08-26 |
公开(公告)号: | CN201280592Y | 公开(公告)日: | 2009-07-29 |
发明(设计)人: | 洪婉玲;郭勋聪 | 申请(专利权)人: | 鈺衡科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/34 |
代理公司: | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人: | 曾永珠 |
地址: | 台湾省台南县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 设备 传动 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种真空溅镀设备的传动装置,特别是关于一种用于真空溅镀制程中且可耐受溅镀设备的腔体内高温并可传送工件载盘的传动装置。
背景技术
真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要技术,近年来已经逐渐取代了喷导电漆或电解电镀等方式,且大量地应用在光电、通信、半导体等产业,成为相当重要的表面处理技术。
一般使用连续式传输的真空溅镀装置,其是将工件整齐固定排放在标准化的承载盘上,通过传动元件的带动,将承载盘平顺地输送于各个腔室之间进行溅镀。目前在真空溅镀装置中的已知传动元件是使用皮带,然而,在真空溅镀装置腔体的高温环境中,温度高达摄氏200度至400度,热应力的作用容易造成皮带的耗损,使得皮带的使用寿命缩短从而导致传动失效。
此外,皮带的长度有规格的限制,而相关机构的位置必须依照皮带的长度规格进行设计,因此在设计上就受限于皮带长度规格,造成机构设计上的不便。另外,传动力量业会因为皮带过长而造成力量的递减,导致传输过程的不顺利,皮带使用久了更会产生松脱的缺点,然而这些因素都将影响溅镀质量。
实用新型内容
鉴于上述真空溅镀设备以皮带作为传动组件而具有不耐高温的缺失,本实用新型主要目的在于提供一种用于真空溅镀制程中且可耐受溅镀设备之腔体内高温并且传送工件载盘的传动装置。
为达到上述目的,本实用新型为采取以下之技术手段:
本实用新型所述传动装置为设置于一真空溅镀设备之腔体中,且包括二固定座、多个传动齿轮、至少二导轮以及至少二导轮齿轮,其中,所述二固定座为相对设置于所述腔体的内壁,且各固定座具有至少一贯穿于该固定座的轴孔以及至少一穿设于该所述轴孔的连接轴;所述多个传动齿轮为枢设于所述固定座且面对所述腔体之内壁的一侧;所述至少二导轮各套为设置于所述连接轴异于腔体内壁的一端;所述至少二导轮齿轮各套为设置于所述连接轴且异于所述导轮的一端并啮合于该所述传动齿轮。
当一溅镀工件的载盘于腔体内被传送时,是以一外部动力源提供动力驱使所述导轮齿轮旋转,且与该导轮齿轮啮合的传动齿轮亦随之旋转,进而带动各相互啮合的传动齿轮及导轮齿轮旋转,同时,各导轮即转动以达到传送工件载盘的功能。
此外,所述传动齿轮、导轮及导轮齿轮为具有耐高温及高强度特性的合金齿轮,因此,本实用新型以该所述传动齿轮、导轮及导轮齿轮取代皮带并改善以皮带作为传动机构所衍生出不耐高温、传动容易失效等缺点,将可使得真空溅镀制程中传动装置的使用寿命延长,而降低设备更换、修缮的成本耗费。
附图说明
图1为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置的俯视图;
图2为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置的侧视图;
图3为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置于腔体外部设有动力源的侧视透视图;
图4为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置于腔体外部未设有动力源的侧视透视图;
图5为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置的前视图。
具体实施方式
下面结合附图以及具体实施例来对本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置作进一步的详细说明。
请参考图1和图2中所示,本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置1为设置于一真空溅镀设备之腔体2中,且包括有:
二固定座11,其为相对设置于所述腔体2的内壁,且各固定座11上具有至少一贯穿于该固定座11的轴孔(图中未示)以及至少一穿设于该轴孔的连接轴111;
多个传动齿轮12,为枢设于所述固定座11且面对所述腔体2之内壁的一侧;
至少二导轮13,各套为设置于所述连接轴111且异于所述腔体2内壁的一端;
至少二导轮齿轮14,各套为设置于所述连接轴111且异于所述导轮13的一端并啮合于所述传动齿轮12。
参考图3、图4和图5中所示,该所述真空溅镀设备的传动装置1还包括至少二相对设置于所述连接轴111且设有导轮齿轮14之一端的联轴器15以及至少二设置于该所述联轴器15且异于该连接轴111之一端的旋转轴体16。
所述旋转轴体16为贯穿于该腔体2的侧壁,其位于该所述腔体2外部的一端亦连接一真空轴封17,且该真空轴封17为将所述腔体2外的大气侧与该腔体2内的真空侧予以隔离并以确保该所述腔体2内的真空环境。
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