[实用新型]基板载台

说明书

技术领域

本实用新型关于一种基板载台，特别是关于一种减少基板的接触面积来防止静电产生的基板载台。

背景技术

随着科技进步，具有省电、无幅射、体积小、低耗电量、平面直角、高解析度、画质稳定等多项优势的液晶显示器，为原先处独占地位的传统映像管屏幕(简称CRT)带来了莫大的冲击，尤其是现今各式信息产品如：手机、笔记型计算机、数字相机、PDA、液晶屏幕等产品越来越普及，亦使得液晶显示器(LCD)的需求量大大提升。

液晶显示器主要系包括一液晶显示面板以及一背光模组，其中液晶显示面板是由一彩色滤光片基板、一薄膜晶体管数组基板以及配置于此两基板之间的液晶层所构成。其中，在液晶显示面板的制造过程中，必须不断地对玻璃基板进行清洗、长膜、光阻涂布、曝光、显影、蚀刻、光阻剥离、热处理等处理。而且，在每一道处理步骤后，也需要针对基板进行检测，以确保制造出来的面板其功能正常。甚至，液晶显示面板于制作完成、接受检验合格后，也需要装箱包装。

因此，液晶显示面板的生产流程需经过许多工作站与机台，如何将基板顺利地搬送在这些工作站间，并置放在工作站的机台上以进行后续制程，自然成为必然面临的问题。而目前液晶显示面板的制造厂中，载送液晶面板于各工作站时，系多采用人工搬运、吸取机构或移载臂来进行各个工作站间的连结。

以目前业界中最常见的移载臂为例，请参考图1A至图1B，其为公知的载台1及其搭配使用移载臂3的示意图。如图1A图所示，载台1包含一固定机座10、一设置于固定机座10上的承载台11以及一与承载台11相结合的传动机构12。其中，传动机构包含一挠性线槽121以及一滑轨122，挠性线槽121两端分别连接于承载座11与滑轨122，且滑轨122与固定机座10连接。因此，当一基板2放置于承载台11上时，传动机构12可带动基板2相对于固定机座10移动。

另外，虽未绘示，固定机座还包含一举升装置，设置于承载台11下方。在一实施例中，举升装置具有复数根升降销(图未示)，且升降销可从承载台11表面所设置的开孔111伸出。采用这种结构，经由移载臂3被搬入该工作站的基板2，被托持在升降销上后，可与升降销一起下降，并被放置到承载台11的表面上以进行该工作站所负责的制程。

接着，当完成工作站中所欲执行的制程后，放置在承载台11上的基板2会再度被升降销托持并上升，亦即使基板2离开承载台11的表面。此时，如图1B所示，移载臂3会穿过基板2与承载台11间的空隙，接手拖持住基板2并将基板2向上搬离，使基板2完全脱离载台1。

然而，由于物体间的接触面相互摩擦之下容易产生静电，因此基板2在脱离承载台11的瞬间会发生带电现象，进而使基板2上的静电值瞬间升高。此时，在一连串的处理过程中，带电基板高风险地将因放电现象而使其表面的组件或电路图案操作损伤，且尘埃等粉尘亦相当容易附着于基板上。

针对上述，基板时常在制程中因产生静电现象而损坏的情形，有业者想出使用吹气式除静电器，利用吹出的离子风来对带电的基板进行正负电中和作用。但是，采用此一方法的速度缓慢，能够降低的静电值有限。且吹气方式也很容易造成扬尘，反而易使基板受到污染。

因而，如何发展出一种降低基板在载台1与移载臂3间发生静电现象的机率，乃是设计者汲思的目标。

实用新型内容

有鉴于此，为了有效解决上述问题，本实用新型提供一种基板载台，可用以解决上述公知技艺所遭遇的困境，降低基板发生静电现象的机率。

本实用新型提供的此载台，用以承载一基板，且至少包含一固定机座以及一承载台。承载台设置于固定机座上方，且具有复数个间隔组件可供基板放置于其上，并使得基板与承载台之间具有一间隙。其中，间隔组件为垫片，且为一止滑垫。

在本实用新型的一较佳实施例中，垫片所总占面积约介于承载台面积的1-5％。如前文所述，静电经由物体间的接触面相互摩擦所产生，故本实用新型藉由降低基板的接触面积以防止静电现象的发生。

关于本实用新型的优点与精神，以及更详细的实施方式可以藉由以下的实施方式以及所附图式得到进一步的了解。

附图说明

图1A为公知的载台及其搭配使用移载臂的俯视示意图；

图1B为公知的载台及其搭配使用移载臂的侧视示意图；

图2A为本实用新型的一实施例中将基板放置于承载台上的侧视示意图；

图2B为本实用新型的一实施例中将基板放置于承载台上的俯视示意图。

【主要组件符号说明】

1    载台           11      承载台