[实用新型]具有半圆形门板的立式溅镀设备

说明书

技术领域

本实用新型是一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特别是关于一种可将溅镀阴极设置于能进行开闭的半圆形门板上，以便溅镀靶材装卸溅镀设备。

背景技术

真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要技术，近年来已经逐渐取代喷导电漆或电解电镀等方式，大量地应用在光电、通信、半导体等产业，成为相当重要的表面处理技术。

一般而言，真空溅镀设备可依照其溅镀靶材的设置方式而区分为立式溅镀设备及卧式溅镀设备，其中，现有技术的立式溅镀设备的溅镀靶材是设置于该溅镀设备的腔体中央位置，当该溅镀靶材需要更换时，作业人员需要利用机具从该腔体的上方将溅镀阴极吊取出来，再进一步将溅镀靶材予以更换，更换完毕后，仍必须再使用机具的辅助将溅镀阴极置回该腔体中央，然而，溅镀阴极的吊取过程相当不便，倘若溅镀阴极是以置放于该溅镀设备的门板内侧的方式取代设置于腔体内部中央的方式，则其需要更换时，仅需打开门板更换即可，如此将可省却更换过程的不便。

再者，目前现有技术溅镀设备的门板是为一长方体的构造，是由六片金属板体所构成，其具有相当的重量并且应力是集中于该门板的角落，造成门板开合支点承受较大的重力负担，此外，由于该门板的长方体构造具有一定的厚度，于门板开启时，由于门板边会抵顶到门板的开合支点位置，将使得该门板的开合角度受到限制而造成作业不便。

实用新型内容

本实用新型的创作人，鉴于现有技术立式溅镀设备的溅镀靶材更换不易以及其门板结构造成作业不便的缺失，所以投注心力研发出本实用新型的溅镀设备，以期解决上述问题。

本实用新型的主要目的在于提供一种具有半圆形门板的立式溅镀设备，其特别是关于一种可将溅镀阴极设置于能进行开闭的半圆形门板上，以便溅镀靶材装设、卸除溅镀设备。

为达到上述目的，本实用新型是采取以下的技术手段予以达成，其中本实用新型的立式溅镀设备包括有：

一溅镀腔体，其内部设有治具设置部且至少一侧之一边设有门板转轴设置部，相对于该门板转轴设置部之一边则设有挡止部；半圆形门板，系枢设于该溅镀腔体之门板转轴设置部，其面对该溅镀腔体之一侧具有一开口且内部具有溅镀阴极设置部；门板闭锁单元，系设置于该半圆形门板对应于该挡止部的位置；该半圆形门板具有枢设于该门板转轴设置部的转轴与门板连接部；该门板闭锁单元是包括一压制块、一固接于该压制块的转轴以及一固接于该转轴异于该压制块的一端的控制杆；该压制块是为一具有水平切面及圆弧面的半圆形块体，并且其圆弧面具有一倾斜部；该挡止部是为具有一长边及一短边的L型块体，其短边是对应于该倾斜部。

通过上述的结构，可将溅镀阴极设置于该半圆形门板的内部，当溅镀靶材需要更换时，仅需开启该半圆形门板并自该半圆形门板的开口取出该溅镀阴极，接着进行溅镀靶材的更换即可，再者，该门板是为半圆形的构造，在结构上仅需要三片金属板体即可构成，相较于现有技术立式溅镀设备的门板，不仅门板本身重量减轻，亦可降低装置成本，此外，采用半圆形的构造，不仅其应力较为分散，更可加大门板开合的角度，以利该溅镀阴极的取放以及溅镀靶材的更换。

附图说明

图1是本实用新型的关闭状态俯视图。

图2是本实用新型的开启状态俯视图。

图3是本实用新型的门板闭锁单元的局部放大图。

图4是本实用新型门板闭锁单元于开启状态的示意图。

图5是本实用新型的门板闭锁单元于关闭状态的示意图。

【主要组件符号说明】

(1)具有半圆形门板的立式溅镀设备

(11)溅镀腔体               (111)治具设置部

(112)门板转轴设置部        (113)挡止部

(12)门板                   (121)转轴

(122)门板连接部            (123)开口

(124)溅镀阴极设置部        (125)延伸部

(13)门板闭锁单元           (131)压制块

(1311)水平切面             (1312)圆弧面

(1313)倾斜部               (132)转轴

(133)控制杆

具体实施方式