[实用新型]无夹痕真空镀膜装置有效
申请号: | 200820136939.0 | 申请日: | 2008-09-18 |
公开(公告)号: | CN201284369Y | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
发明(设计)人: | 陈正全 | 申请(专利权)人: | 普镀股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 孙皓晨 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 无夹痕 真空镀膜 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜装置。
背景技术
现有大量生产的镀膜方法,主要以大面积的旋转接触作离子源镀膜,其乃以一镀膜转盘夹载一定数量的被镀物,再由外接的传动机制转动整组镀膜转盘,使被镀物因受离子镀源喷发的离子风而达到镀膜的作用,其由一真空锅炉中,底层设一熔炉床,利用上、下层加热器,加热待镀物以及真空锅炉,再用电子枪将熔炉床的镀膜源离子化,并喷发至上层的被镀物,被镀物置在旋转盘上,旋转盘中间设有一转轴,可连结至外部利用马达带动,使之旋转,并以放置在台车上;而以离子源喷发角度为由下而上的喷发为主,可以因喷发的强度以及角度,使离子分别有从下和离子气喷发到上面后回落时再接受离子源的两种主要承受面;一般来讲,仍以下层直接受离子气吹袭者,为较佳受镀面,不过,由于被镀物并非二维的平面,因此使用此种情况:一则受镀面仅限于上下两固定角度,对于一般立体被镀物而言,其受镀膜的区域,将因被镀物本身立体角度的限制,而产生不同的死角,如以螺丝或攻牙钻头等高品质需求者,因立体角度差异颇大,有高角度螺旋死角,以一般固定在载具上的镀膜方式,必然有内层螺旋牙内侧等无法完全接触镀源的情况;再则被镀物因被固定在载具上,除部份因角度差异形成障壁死角外,被夹持部份也必然被全部遮敝,完全无法接受离子风,形成无镀膜部份;此种情况在需要全面强化的被镀物上,为一重大缺陷,因其将使镀膜效果无法遍及全体,大幅降低镀膜效果,以被镀物固定在夹治具时,本就因受镀面偏在固定,而产生镀膜厚度不一的情况,更且夹持部份完全无法被镀,更加产生严重影响受镀物本身强度的重大差异,使被镀物在使用上会出现部份强度不足,使镀膜效应完全无法发挥的缺点,在讲究高品质时代,足以严重阻碍产品镀膜品质的提升。
另外,以现有装置,被镀物必须夹设固定在夹具上,夹持时,必须预留部份夹持部,此种情况,在部份小形或微形被镀物将造成颇大的困扰,因为必须另外预留较多可供夹持的部份,否则无法稳定夹固,进而在镀膜时,可能因夹持不稳,造成被镀物脱离,形成对精密锅炉的重大损害;反之,预留的夹持部份若多,则对被镀物的成本大增,严重侵损市场竞争力,特别是部份微细的被镀物,根本无法以夹具固定,此时就完全无法以真空镀膜方式加以镀膜,大幅限制真空镀膜的使用范围,且被镀物必须夹设在固定夹具,因夹具颇占空间,会有很大的数量限制,因此产生物件大小不同,但一次镀膜数也相同,因此镀膜成本也居高不下,无法降低小物件的镀膜成本,且无法缩短整体镀膜时间,殊为业界颇大的困扰。
因此,如何将上述缺失加以摒除,即为本案实用新型设计人所欲解决的技术困难点的所在。
发明内容
针对现有技术的不足,本实用新型的目的在于:提供一种无夹痕真空镀膜装置,降低小物件的镀膜成本,消除固定夹具造成的夹痕。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案包括:
一种无夹痕真空镀膜装置,在腔体的容纳空间内设有一转轮设置,所述的转轮装置设置在腔体内的加热器下方,其特征在于:轮转装置是以一固定底座为基础座,并在固定底座的两竖杆间设转轮,而转轮是由一转轴带动以作旋转运动,其中转轮具有环状轮盘,环状轮盘上设有复数网状管体,网状管体包括一可容纳被镀物的金属网,金属网固设在对称横设的两个横杆之间,横杆外侧设有螺纹以及孔洞,其中金属网一端是由一封盖固封,封盖中央有孔洞由金属网封住,形成通透状,而金属网另一端设有一耳形盖,耳形盖后有一螺帽,螺帽配合横杆的螺纹锁固,并在螺帽前端的横杆上套入有弹性元件,横杆穿过环状盘体上设置的透孔后由扣件穿入横杆的孔洞形成固定。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案包括:
一种无夹痕真空镀膜装置,在腔体的容纳空间内设有一转轮设置,所述的转轮装置设置在腔体内的加热器下方,其特征在于:轮转装置是以一固定底座为基础座,并在固定底座的两竖杆间设转轮,而转轮是由一转轴带动以作旋转运动,其中转轮具有环状轮盘,环状轮盘上设有复数网状管体,网状管体包括一可容纳被镀物的金属网,金属网固设在对称横设的两个横杆之间,横杆外侧设有螺纹以及一个以上的孔洞,所述的金属网内利用分隔板以及插销分隔出一个以上的容置空间,金属网一端是由一封盖固封,封盖中央有孔洞由金属网封住,形成通透状,而金属网另一端盖设有一耳形盖,耳形盖后设有一螺帽,螺帽配合横杆的螺纹锁固,并在螺帽前端的横杆上套入弹性元件后穿过环状盘体的透孔后由扣件穿入横杆的孔洞形成固定。
与现有技术相比较,采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于:
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