[实用新型]微观表面缺陷全自动紫外光学检测系统无效
申请号: | 200820139446.2 | 申请日: | 2008-10-31 |
公开(公告)号: | CN201302555Y | 公开(公告)日: | 2009-09-02 |
发明(设计)人: | 王华 | 申请(专利权)人: | 东莞康视达自动化科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523000广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微观 表面 缺陷 全自动 紫外 光学 检测 系统 | ||
1、一种微观表面缺陷全自动紫外光学检测系统,其特征在于,其由依次连接的一自动上料系统、一精密定位系统、一紫外光学系统、一显微视觉系统、一图像采集系统、一图像处理系统及一自动卸料系统构成。
2、根据要求1所述的微观表面缺陷全自动紫外光学检测系统,其特征在于:所述的精密定位系统包括驱动模块、运动控制模块、位置信息反馈模块,其中运动控制模块中设置有运动速度、范围、步进距离参数调节单元。
3、根据要求1所述的微观表面缺陷全自动紫外光学检测系统,其特征在于:所述的紫外光学系统,包括紫外光线发射模块、散热模块、光线角度调整模块和亮度调整模块。
4、根据要求1所述的微观表面缺陷全自动紫外光学检测系统,其特征在于:所述的显微视觉系统包括一可将表面的质量缺陷特征放大的显微放大模块,及一可采集的图像信息并将其传输到图像处理系统进行图像分析的紫外光摄像机。
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