[实用新型]多层真空罩装置

权利要求书

1、一种多层真空罩装置，其特征在于，包含有：

一可动罩身，具有一两端透空，并可使该罩身沿垂直于其环孔孔轴方向于一第一及一第二位置间往复水平位移的环状身部；

一可沿垂直于该身部水平移动方向往复位移作动，可分别封闭于该身部两端的开口，而于该罩身及各该端罩间形成一第一封闭空间，或可彼此对接而于各该端罩间形成一第二封闭空间的第一及第二端罩，彼此上下相向对应设置。

2、依据权利要求1所述的多层真空罩装置，其特征在于，还包含有一基座，其具有一基部，一用以导引各该端罩往复位移作动的直立长形导部，以底端立置固设于该基部上。

3、依据权利要求2所述的多层真空罩装置，其特征在于，各该端罩分别具有一端部，至少一滑接部突设于该端部的一侧并与该导部滑接。

4、依据权利要求3所述的多层真空罩装置，其特征在于，还包含有一用以驱动对应端罩沿该导部长轴方向往复位移作动的驱动组，其具有二端罩驱动件，分别以出力端连接于对应端罩的滑接部上。

5、依据权利要求1或2所述之多层真空罩装置，其特征在于，当该可动罩身位于该第一位置上时，该可动罩身并可沿该身部环孔的轴向方向于该第一及一第三位置间往复位移。

6、依据权利要求5所述的多层真空罩装置，其特征在于，还包含有一用以导引该可动罩身水平位移的轨件，其通过两部位分别滑接于该身部的两相背端侧上。

7、依据权利要求6所述的多层真空罩装置，其特征在于，该轨件具有一水平底板，二对立杆分别以一端垂直设于该底板上，二彼此平行的条状导轨分别桥接于对应的一对立杆另端上，并分别与该身部的两相背端侧滑接。

8、依据权利要求7所述的多层真空罩装置，其特征在于，还包含有一用以带动该可动罩身于该第一及第二位置间位移作动的驱动组，其具有一水平驱动件，并以出力端连接于该可动罩身上；一用以驱动该轨件以带动该可动罩身于该第一及该第三位置间位移作动的垂直驱动件，以出力端连接于对应的导轨上。