[实用新型]一种微量气体注入设备无效
| 申请号： | 200820151036.X | 申请日： | 2008-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN201251016Y | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 安双利 | 申请（专利权）人： | 上海第二工业大学 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04 |
| 代理公司： | 上海东创专利代理事务所 | 代理人： | 宁芝华 |
| 地址： | 200093上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微量 气体 注入 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种微量气体注入设备，其特征在于：包括低真空段、高真空室和超高真空室；低真空段贮气钢瓶经铜软管与电磁阀、热偶规、微调阀串联连接；高真空室和超高真空室分别配置涡轮分子泵机组，中间用带有限流小孔的密封板隔开，密封板固定在法兰上；在微调阀门的出口处连接一喷嘴，喷嘴与高真空室连通，超高真空室与波纹管连通；通过法兰与气动阀门的右端带有限流小孔的密封板连接，密封板固定在法兰上，气动阀门的左端直接与实验装置主体用法兰连接；高真空室和超高真空室还分别连接有热阴极电离规。
2.根据权利要求1所述的一种微量气体注入设备，其特征在于：所述的带有限流小孔的密封板，小孔开在密封板中心，且小孔与喷嘴的中心均在同一直线上。
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