[实用新型]水平炉管的炉门封闭装置

说明书

技术领域

本实用新型属于微电子装备领域，具体涉及一种水平炉管的炉门封闭装置。

背景技术

在晶圆制造厂中，扩散工艺是芯片制造中的非常重要的工艺步骤，主要通过扩散炉来实现。扩散时，晶圆通过晶舟置于扩散炉的炉管中，炉管口通过炉门封闭，通过穿通于炉门的桨来实现晶舟的位置控制。炉管内充入扩散源气体后，在一定温度和时间的工艺条件下对晶圆实现扩散掺杂。

其中，炉门的密封效果会影响扩散源气体在炉管中的浓度值的稳定性，因此对扩散工艺的稳定性有着重要影响。现有技术的水平炉管的炉门封闭装置如图1和图2所示。图1所示为现有技术水平炉管的炉门封闭装置的正视面示意图，如图1所示，炉门封闭装置包括炉门10、炉门上的支撑柱11、炉门上的方形孔12、炉管30、穿通炉门上的方形孔12并连接炉管30中的晶舟(图中未示出)的桨20。图2所示为炉门的左视面示意图，如图1所示，炉门10上有方形孔12以及两个相互水平定位固定于炉门10的支撑柱11。结合图1和图2所示，通过推两个支撑柱11，使炉门10与炉管30的端口接触实现炉管封闭。其中支撑柱没有调整装置，炉门10与炉管30的端口的平面接触特性主要通过操作人员手感调整对支撑柱的作用力来实现；同时由于两个支撑柱11是水平固定于炉门10上，炉门在垂直方向的倾斜偏差难以调整，从而难以保证炉门的密封效果。进一步，由于炉门上的方形孔12与桨20之间的公差间隙较小，炉门10的垂直偏差导致桨20不与炉门完全垂直，桨20在抽送晶舟的过程中会与炉门上的方形孔12之间产生较大的摩擦力，因此会导致桨20和炉门上的方形孔12的磨损，炉门的密封效果进一步变差，降低炉门的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是：提高水平炉管的密封效果并提高炉门封闭装置的使用寿命。

本实用新型所公开的水平炉管的炉门封闭装置包括：

带有三个或三个以上支撑柱的炉门；

与炉门上的支撑柱连接的支撑柱调节装置；

以及穿通于炉门的桨。

其中，所述支撑柱垂直固定于炉门上，所有支撑柱不同在一条直线上定位分布，所述炉门上包括一个方形孔，所述桨水平放置并通过方形孔穿通于炉门，所述方形孔和所述桨之间的间隙较小，间隙公差范围为0.5mm到1.5mm。

较佳地，所述炉门封闭装置还包括连接于炉管上的排风室，用于炉管中泄漏气体的排放。

其中，与炉门上的支撑柱连接的支撑柱调节装置包括支架座、第一弹簧、第一螺栓以及支撑套管；所述支撑套管与支撑柱通过螺纹固定连接，所述支架座通过第一螺栓与支撑套管连接，第一弹簧置于支架座和支撑套管之间，所述支架座通过螺纹固定于扩散炉上，固定之前所述支架座位置具有可调性。

较佳地，所述支撑柱调节装置还包括第二弹簧、第二螺栓以及排风室密封门；排风室密封门穿通支撑套管并通过第二螺栓连接于支架座，第二弹簧置于支架座之上和排风室密封门之间。

本实用新型的技术效果是：通过支撑柱调节系统，可以实现对不同在一条直线上的支撑柱调节，从而实现炉门垂直于水平炉管，炉管与水平炉管的端口较好地平面啮合，因此能达到较好的密封效果。同时，也保证了炉门与水平放置的桨的垂直度，因此可以大大减小桨和炉门上的方形孔之间的磨损，提高炉门封闭系统的密封效果，并提高炉门封闭系统的使用寿命。

附图说明

图1为现有技术的水平炉管的炉门封闭装置的正视图；

图2为现有技术的水平炉管的炉门封闭装置的炉门的左视图；

图3为本实用新型所提供的一种水平炉管的炉门封闭装置的顶视图；

图4为本实用新型所提供的一种水平炉管的炉门封闭装置的正视图；

图5为本实用新型所提供的一种水平炉管的炉门封闭装置的炉门的左视图；

图6为本实用新型所提供的一种水平炉管的炉门封闭装置的炉门的正视剖面图；

图7为本实用新型所提供的一种水平炉管的炉门封闭装置的正视图中的截面放大视图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。