[实用新型]一种薄壁管激光微切割装置无效
| 申请号： | 200820153979.6 | 申请日： | 2008-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN201295822Y | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 王又良;王健超;潘涌;姜兆华;汤在敏;张伟 | 申请（专利权）人： | 上海市激光技术研究所 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/04;B23K26/08 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200233*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄壁 激光 切割 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄壁管激光微切割装置，其特征在于，它包括高峰值功率固体激光器、准直扩束系统、快门、XY光束定位扫描装置、远心扫描镜、CCD监视系统、计算机控制系统、旋转电机、工件夹具；激光器发出的激光束通过准直扩束系统后通过XY光束定位扫描装置进行定位，用于激光能量的调节的快门置于准直扩束系统和XY光束定位扫描装置之间，激光束通过XY光束定位扫描装置及远心扫描镜后，以垂直入射的方式直接聚焦在工件表面上，所述工件通过工件夹具固定在旋转电机上，由计算机控制系统的控制下沿轴线做高速旋转，配合光束两维扫描完成薄壁管切割；通过CCD进行全程监控。
2.根据权利要求1所述的薄壁管激光微切割装置，其特征在于，所述的高峰值功率固体激光器采用532nm、355nm波长的超短脉冲半导体泵浦固体激光器，峰值功率的能量密度达108W/cm。
3.根据权利要求1所述的薄壁管激光微切割装置，其特征在于，所述的远心扫描透镜为由3片或以上光学镜片组成的透镜组，放置于光束定位扫描装置与被加工工件之间，在其光学镜片表面镀有532nm或者355nm的增透膜。
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