[实用新型]可变孔隙粒子分析仪有效
| 申请号： | 200820154251.5 | 申请日： | 2008-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN201282105Y | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 阳厚国;张进创;王蒙;逄锦涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王 洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 可变 孔隙 粒子 分析 | ||
【权利要求书】：
1、一种可变孔隙粒子分析仪，包括孔隙板，其特征在于所述孔隙板的板面上设有至少一个方形砚孔；还设有至少一挡板，在板面上滑动。
2、如权利要求1所述的可变孔隙粒子分析仪，其特征在于所述孔隙板为长方形，对应的两侧边缘设有导轨；所述挡板也为长方形，与导轨滑动连接。
3、如权利要求2所述的可变孔隙粒子分析仪，其特征在于所述挡板的板宽大于砚孔的缝宽。
4、如权利要求2或3所述的可变孔隙粒子分析仪，其特征在于所述挡板通过一连杆与滑动变阻器的滑片固定连接。
5、如权利要求4所述的可变孔隙粒子分析仪，其特征在于所述连杆为绝缘连杆。
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