[实用新型]液体排放装置有效
申请号: | 200820154497.2 | 申请日: | 2008-10-27 |
公开(公告)号: | CN201297498Y | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 安云富;刘伟 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | F17D1/18 | 分类号: | F17D1/18;F17D3/01 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 排放 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种排放装置,且特别涉及一种液体排放装置。
背景技术
目前,电子工业已经成为世界上规模最大的工业,其全球市场份额已经超过了10000亿美元。电子器件是电子工业的基础,为满足电子工业的巨大需求,该领域的发展十分迅速。随着微电子技术的发展,半导体器件的特征尺寸已进入超深亚微米,在原理、结构和制造工艺方面有许多重大突破,同时出现了许多新型半导体器件。随着半导体工艺的需求,一些易于结晶的化学品被用到生产工艺的机台中,这样我们就会面临这些化学品的排放问题,通常厂家常用的方法就是将这些易于结晶的化学品通过排放管道直接排放,这就引出了一些新的问题。一般排放回收系统离生产工厂比较远,这些易于结晶的化学品在温度降低到一定的程度时便会结晶,容易堵塞排放管道,而一旦堵塞,技术人员很难查到具体的堵塞位置,而且,要堵塞往往是多处堵塞,给导通工作带来了难度,排放管道不及时导通,会直接影响到工厂的运行。
一些厂家和个人针对这个问题,采取了一些措施,比如将排放管道加厚处理,或者在排放管道外面加涂防冻层,这些方法不但大大的提高了成本,而且收效甚微。
实用新型内容
为了克服已有技术中存在的易结晶化学品容易在管道中结晶,并因此堵塞管道的问题,本实用新型提供一种具有能保持易结晶化学品在管道内不结晶堵塞管道的液体排放装置。
为了实现上述目的,本实用新型提出一种液体排放装置,包括存储容器,回收容器以及连接所述存储容器和所述回收容器的排放管道,所述排放管道为双套管结构,所述排放管道夹层两端分别与一热水供应系统和一热水回收系统相连。
可选的,所述排放管道外管直径和内管直径比不小于3:2。
可选的,所述存储容器和回收容器通过所述排放管道的内管相连。
可选的,所述热水供应系统通过第一导管和所述排放管道夹层相连。
可选的,所述存储容器和所述热水供应系统位于所述排放管道的同一端。
可选的,所述回收容器和所述热水回收系统位于所述排放管道的同一端。
可选的,所述热水回收系统包括一热水回收箱以及连接所述热水回收箱和所述排放管道夹层的第二导管。
可选的,所述热水供应系统和一温度测量计相连。
本实用新型所述的液体排放管道的有益效果主要表现在:和热水供应系统相连的温度测量计可以显示热水温度,便于根据化学品的结晶点来调节热水温度;排放管道为双套管结构,且在夹层中输入热水,以保持管内的温度在化学品的结晶点之上,该装置能够保证化学品沿排放管道顺畅排放,减少了堵塞的情况发生。
附图说明
图1为本实用新型液体转移装置实施例的结构示意图;
图2为本实用新型液体转移装置实施例的排放管道的截面示意图。
具体实施方式
下面结合附图对实用新型作进一步的描述。
请参考图1,图1是所述的一种液体排放装置,主要用于易结晶的化学品的排放,包括存储容器110、回收容器114以及连接所述存储容器和回收容器的排放管道,存储容器110用于收集和放置易结晶的化学品,可固定于工厂的某个生产车间,回收容器114放置于化学品的回收车间,所述排放管道为双套管结构,所述排放管道的夹层112两端分别与一热水供应系统111和一热水回收系统相连,热水供应系统111和排放管道夹层112之间通过第一导管118相连,热水回收系统包括热水回收箱117以及连接热水回收箱117和排放管道夹层112的第二导管115,所述存储容器110和所述热水供应系统111位于所述排放管道的同一侧,而所述回收容器110和所述热水回收系统则位于所述排放管道的另一侧,这样能够保证存储容器110中的易结晶的化学品进入排放管道时,对应的排放管道的夹层112就有热水供应,维持化学品的温度在其结晶点之上。热水供应系统111与一温度测量计116相连,热水供应系统111负责给水加热,温度测量计116测试并显示加热的温度,根据易结晶的化学品的结晶点的高低,来决定所加热的水的温度,一般加热的水的温度要高于化学品的结晶点5摄氏度,才能保证易结晶的化学品在排放管道中顺畅传输,另外,排放管道外管119直径和内管113直径的比例不能小于3:2,否则也不能保证化学品在传输的过程中不结晶,外管119直径和内管113直径的差距越大,就意味着排放管道夹层112的空间的增大,即其中所能容纳的热水量的增大,有利于维持管道中化学品的温度在热水的温度附近。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200820154497.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。