[实用新型]化学品供应泵的泄漏检测系统有效
| 申请号： | 200820154498.7 | 申请日： | 2008-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN201322679Y | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 朱飚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/38 | 分类号： | G01M3/38 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学品 供应 泄漏 检测 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学品供应泵的泄漏检测系统，包括主体、光电转换器和连接在所述主体上的光纤固定架，所述光电转换器上的光发射极连接有第一光纤，所述光电转换器上的光接收极连接有第二光纤，其特征在于：所述主体设有连接所述化学品供应泵的通道，所述通道内设有可在所述通道内运动的浮动体；所述第一光纤的另一端和所述第二光纤的另一端对称设置在所述光纤固定架上。
2.如权利要求1所述的一种化学品供应泵的泄漏检测系统，其特征在于：所述光电转换器上还连接有一输出系统，所述输出系统为一监控器或者警示系统。
3.如权利要求1所述的一种化学品供应泵的泄漏检测系统，其特征在于：所述光电转换器上还连接有为所述光电转换器供电的电源单元。
4.如权利要求1所述的一种化学品供应泵的泄漏检测系统，其特征在于：所述主体以可拆卸方式固定在所述化学品供应泵上。
5.如权利要求1所述的一种化学品供应泵的泄漏检测系统，其特征在于：所述主体和所述浮动体采用耐腐蚀材料制成。
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