[实用新型]常压等离子发生装置

权利要求书

1.一种常压等离子发生装置，包括：单端开口的第一石英管及第二石英管，该第二石英管有间隙地套设于该第一石英管外，且第一、第二石英管的开口方向相同；一用于向该第一石英管内部输送原料气体的第一输气管，从外向内分别穿过第二石英管和第一石英管的封闭端；一用于向该第二石英管内部输送冷却气体的第二输气管，穿设于第二石英管的管壁；其特征在于，该等离子发生装置还包括：

一单端开口的第三石英管，其有间隙地套设于该第二石英管外，且第三石英管开口方向与第一、第二石英管的开口方向相同，该第一输气管从第三石英管的封闭端穿过；

一用于向第三石英管内输送额外冷却流体的第三输气管，穿设于第三石英管的管壁；

一感应线圈，螺旋缠绕于该第三石英管的外表面；

一利用电感耦合原理使第一石英管内部产生等离子体的电源装置，

该电源装置的二电极分别与该感应线圈的两端连接。

2.如权利要求1所述的常压等离子发生装置，其特征在于，所述第一石英管的管口横截面的长度大于宽度。

3.如权利要求2所述的常压等离子发生装置，其特征在于，所述第一石英管的横截面为矩形、圆矩形、梭形或骨形。

4.如权利要求3所述的常压等离子发生装置，其特征在于，所述冷却气体为惰性气体，所述额外冷却流体是惰性气体或水冷液体。

5.如权利要求4所述的常压等离子发生装置，其特征在于，所述第一石英管的封闭端位于接近于感应线圈的第一匝处。

6.一种常压等离子发生装置，包括：单端开口的第一石英管及第二石英管，该第二石英管有间隙地套设于该第一石英管外，且第一、第二石英管的开口方向相同；一用于向该第一石英管内部输送原料气体的第一输气管，从外向内分别穿过第二石英管和第一石英管的封闭端；一用于向该第二石英管内部输送冷却气体的第二输气管，穿设于第二石英管的管壁；其特征在于，该等离子发生装置还包括：

一单端开口的第三石英管，其有间隙地套设于该第二石英管外，且第三石英管开口方向与第一、第二石英管的开口方向相同，该第一输气管从第三石英管的封闭端穿过；

一用于向第三石英管内输送额外冷却流体的第三输气管，穿设于第三石英管的管壁；

一感应线圈，螺旋缠绕于该第二石英管的外表面；

一利用电感耦合原理使第一石英管内部产生等离子体的电源装置，该电源装置的二电极分别与该感应线圈的两端连接。

7.如权利要求6所述的常压等离子发生装置，其特征在于，所述第一石英管的横截面的长度远大于宽度。

8.如权利要求7所述的常压等离子发生装置，其特征在于，所述第一石英管的横截面为矩形、圆矩形、梭形或骨形。

9.如权利要求8所述的常压等离子发生装置，其特征在于，所述冷却气体为惰性气体，所述额外冷却流体是惰性气体或水冷液体。

10.如权利要求9所述的常压等离子发生装置，其特征在于，所述第一石英管的封闭端位于接近于感应线圈的第一匝处。