[实用新型]加热器底座有效

专利信息
申请号: 200820156368.7 申请日: 2008-12-01
公开(公告)号: CN201321491Y 公开(公告)日: 2009-10-07
发明(设计)人: 吴新江;吴军海 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: C23C16/50 分类号: C23C16/50;H01L21/316
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所 代理人: 屈 蘅;李时云
地址: 2012*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 加热器 底座
【权利要求书】:

1.一种加热器底座,包括底座主体,其上分布第一插孔、第二插孔和第三插孔,其特征在于在所述底座主体的侧面开螺丝孔,所述螺丝孔和所述第一插孔导通,所述螺丝孔中放置螺丝。

2.根据权利要求1所述一种加热器底座,其特征在于所述底座主体为金属材料。

3.根据权利要求1所述一种加热器底座,其特征在于所述第二插孔和所述第三插孔的内侧壁为绝缘体。

4.根据权利要求1所述一种加热器底座,其特征在于所述螺丝为无头的内六角螺丝。

5.根据权利要求1所述一种加热器底座,其特征在于所述底座为圆柱体结构或长方体结构。

6.根据权利要求1所述一种加热器底座,其特征在于所述第一插孔、第二插孔和第三插孔平行放置。

7.根据权利要求1所述一种加热器底座,其特征在于所述螺丝孔和所述第一插孔相互垂直。

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