[实用新型]探针卡支承板

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体测试装置领域，尤其涉及一种用于测试芯片的探针卡支承板。

背景技术

探针测试是对芯片进行测试的一种方法，通常是把芯片放置在一个探针卡支承板上，并通过探针卡实现这一部分的电子线路连接，探针卡上有细小的金属探针附着，通过降低探针高度使之和芯片上的焊盘接触，可以把探针卡上的线路和芯片的焊盘连起来。之后，运行检测程序检验芯片合格与否。检测完成后，探针抬起，如果芯片不合格，则会在其中央做上标记，然后进行下一个芯片的测试。

在目前的测试设备中，探针台的探针卡支承板都是专用型设计的，即在购进之前需要告诉供应商该探针台需要测试的器件的特征(比如器件的类型、尺寸，厚度等)以及所使用的探针卡的特征(比如PCB的厚度，大小，形状和结构等)，供应商再根据这些信息对使用的探测台进行设计专用的探针卡支承板，随着市场的多样化和消费需求变化迅速，往往一台探针台还需要对很多种类的半导体芯片进行测试，专用的探针卡支承板难以应用在其他产品上，一种探针卡支承板只能适用在一种芯片类型的探针卡，比如用来装载SOC(片上系统)的探针卡可能与装载Memory(记忆体)芯片的探针卡就不一样，缺乏适应性。而且，一旦将探针台置换其他产品进行测试，则需要针对其他产品进行专门的设计，不得不花费额外的开销，增加成本，同时更换周期长，影响探针台的使用效能和综合产量，无法满足市场对产品的快速变化需求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种可适应各种探针卡结构的探针卡支承板。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种探针卡支承板，所述探针卡支承板包括外环面和内环面，所述内环面上两侧设有开口，所述内环面分布有若干组孔，各组孔以所述内环面圆心为中心呈同心圆状排列。

进一步的，所述内环面开口处两侧连接有卡槽。

进一步的，所述卡槽与所述内环面以可拆卸方式连接。

进一步的，所述各组孔所对应的圆的直径与不同尺寸的圆形探针卡相对应。

进一步的，所述外环面外侧设有若干突出块。

与现有探针卡支承板相比，本实用新型通过在原有的探针卡支承板上设有开口，即可与卡槽连接，从而可以通过调整卡槽的距离而适用于各种矩形类的探针卡，而且，通过在所述内环面上设有若干组同心的孔，当去掉所述卡槽后，可适用于各种圆形类的探针卡，从而可广泛应用于各类探针卡，提高了设备的利用率，也节省了成本。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型探针卡支承板作进一步的详细说明。

图1是本实用新型探针卡支承板的结构示意图；

图2是本实用新型探针卡支承板实施例一的组装示意图；

图3是本实用新型探针卡支承板实施例二的组装示意图。

具体实施方式

请参阅图1，本实施例的探针卡支撑板9包括内环面1和外环面2，在所述内环面1上两侧设有开口4，同时在所述内环面1上分布有若干组孔3，每一组孔以所述内环面1圆心为中心呈同心圆状排列，从而根据不同的探针卡直径的大小而选择不同的同心圆的孔来固定。外环面外侧设有若干突出块5，所述突出块5用来与外部设备连接固定。

实施例一：请参阅图2，所述内环面1在开口4处的两侧分别连接有两个卡槽6，所述卡槽6通过螺丝(未标示)与所述内环面1连接，在所述卡槽6上固定探针卡7，即可对所述探针卡7上的待测件(未标示)进行测试。所述卡槽6上固定螺丝的槽位(未标示)可以设计的比较宽，从而适用于不同尺寸的具有矩形类的探针卡，也便于安装和调整。所述卡槽6与所述内环面1以可拆卸的方式连接，比如通过螺丝来锁紧或者在所述卡槽上设有夹持机构(未标示)来进行夹持，当所述探针卡支撑板9用来进行其他结构的探针卡测试的时候，即可将所述卡槽6以及夹持机构卸掉。

实施例二，请参阅图3，当改用具有圆形类的探针卡8时，先将图1中如实施例一所述的卡槽6以及夹持机构卸掉，直接将所述探针卡8放置于所述内环面1上，设计时，每组孔3所对应的圆的直径与不同尺寸的圆形探针卡8相对应，根据所述探针卡8直径的大小，选择分布在所述内环面1上呈同心圆状排列的一组孔3来固定，即可对所述探针卡8上的待测件(未标示)进行测试。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。