[实用新型]掩模版库机构

权利要求书

1、一种掩模版库机构，包括锁定和解锁机构以及位于其下方的升降机构，其特征在于：

所述锁定和解锁机构包括第一驱动组件和滑块机构，所述第一驱动组件驱动所述滑块机构作直线往复运动；

所述升降机构包括第二驱动组件及导轨组件，所述第二驱动组件驱动掩模版盒沿导轨组件作直线往复运动。

2、如权利要求1所述的掩模版库机构，其特征在于，所述第一驱动组件包括电机、丝杠及丝杠螺母，所述电机提供动力，所述丝杆用于连接所述电机与所述丝杆螺母，所述丝杆螺母与所述滑块机构连接，并将电机的转动转化为滑块机构的水平运动。

3、如权利要求1所述的掩模版库机构，其特征在于，所述滑块机构包括导向销及交叉滚柱滑块，所述滑块上具有导槽，所述导向销一端设置在所述导槽内，另一端连接至所述交叉滚柱滑块，当所述滑块作直线往复运动时，其带动所述导向销和交叉滚柱滑块作垂直于滑块运动方向的往复运动。

4、如权利要求3所述的掩模版库机构，其特征在于，所述滑块两端均设有导槽，对应每个导槽均设置有导向销和交叉滚柱滑块。

5、如权利要求3所述的掩模版库机构，其特征在于，所述导槽两端各具有一段水平横槽，两段水平横槽之间通过一段斜槽连接。

6、如权利要求5所述的掩模版库机构，其特征在于，所述斜槽与横槽之间的夹角为150度。

7、如权利要求3所述的掩模版库机构，其特征在于，所述导向销和交叉滚柱滑块通过一锁销连板连接。

8、如权利要求3～7中任一项所述的掩模版库机构，其特征在于，所述滑块包括平行设置在所述开口两侧的上滑块及下滑块。

9、如权利要求8所述的掩模版库机构，其特征在于，所述锁定和解锁机构还包括连接上滑块与下滑块的钢索，当所述第一驱动组件驱动上滑块运动时，由所述钢索带动所述下滑块作与上滑块相反方向的运动。

10、如权利要求1所述的掩模版库机构，其特征在于，所述第二驱动组件包括电机以及同步带轮和齿形带组件，所述同步带轮和齿形带组件将所述电机与所述导轨组件连接。

11、如权利要求1所述的掩模版库机构，其特征在于，所述导轨组件包括滚珠丝杠螺母组件、螺母支座、升降溜板及滚动导轨，所述螺母支座固定在滚珠丝杠螺母组件上，所述滚动导轨设置于滚珠丝杠螺母组件的两侧，所述升降溜板套设在所述滚动导轨上并与所述螺母支座连接，所述第二驱动组件驱动所述滚珠丝杠螺母组件转动，并由该滚珠丝杠螺母组件将第二驱动组件发生的转动转化为螺母支座上下方向的直线往复运动。

12、如权利要求11所述的掩模版库机构，其特征在于，所述升降溜板上还设有用于承载掩模版盒的版盒托板，所述版盒托板在升降溜板的带动下，沿上下方向作直线往复运动。

13、如权利要求12所述的掩模版库机构，其特征在于，所述锁定和解锁机构对应于版盒托板的位置具有一开口，用于容纳所述掩模版盒。

14、如权利要求11所述的掩模版库机构，其特征在于，所述升降机构还包括竖向导轨座，所述滚动导轨平行设置于所述竖向导轨座上。

15、如权利要求14所述的掩模版库机构，其特征在于，所述升降机构还包括防尘盖板，所述防尘盖板安装在所述升降溜板和所述竖向导轨座之间。