[实用新型]可调沉积速率的真空镀膜机挡板

权利要求书

1、一种可调沉积速率的真空镀膜机挡板，包括一块耐高温的圆板，该圆板的圆心处垂直地连接一个转轴，该转轴的下端连接一驱动装置，其特征在于所述的圆板，自圆心辐射地划分为多个扇区，这些扇区依次为全挡区、不挡区和一个以上阻挡程度由小变大的阻挡区直至所述的全挡区，所述的不挡区是该扇区的面板被挖空，所述的全挡区是该扇区的面板完全保留，所述的阻挡区的扇区各开设有孔径由大到小，密度由密集到疏松的多个通孔，而同一扇区的通孔的孔径相同，密度均匀；所述的扇区的大小完全覆盖膜料蒸发源。

2、根据权利要求1所述的可调沉积速率的真空镀膜机挡板，其特征在于所述的不挡区和所述的全挡区之间有2个阻挡区，分别称为低档区和高档区。

3、根据权利要求1所述的可调沉积速率的真空镀膜机挡板，其特征在于所述的圆板由耐高温的金属或其它耐高温的固体材料构成，该圆板的厚度为0.5mm～1mm，或所述的通孔经倒角后的孔缘的厚度小于1mm。