[实用新型]一种能快速降温的扩散炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种能快速降温的扩散炉。

背景技术

目前，太阳能电池片形成PN结的过程中，因为工艺需要快速升温和降温，为保证升温速率和能源效率，保温层越厚越好，但使用太厚的保温层，又无法做到炉膛需快速降温。如果在炉膛内用风冷降温，又会使局部温度不均匀，给产品带来不良的工艺后果。现在生产的扩散炉保温厚度由原来的110mm减少到70mm，牺牲了一些保温性能，但最快下降温度还只能达到5℃/min，还是满足不了更高的工艺要求，如果再减少保温层厚度又会带来严重的能源浪费和温度不稳定。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种能快速降温的扩散炉。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：为满足扩散过程中的工艺要求，炉膛为双层保温结构，炉膛中间上部设有进冷却气管和电磁气阀，炉瞠两端下部设有出气口，需要快速降温时，打开进气电磁阀吹入压缩空气，为保证冷却均匀经过环型分气管吹入，环形分气管环绕内保温层中部，在环型分配管的两侧面加工很多小孔，冷却空气通过小孔吹入保温夹层，使内炉膛快速降温，当需要保温时关闭电磁气阀，由于进出气口较小并朝下夹层内的空气无法流动所以具有良好的保温效果，同时起到很好的节能和温度稳定作用。

本实用新型的有益效果是，由于有夹层，使本实用新型温度降低速度加快，而且温度稳定，实现在太阳能电池片生产过程中的快速降温。

附图说明

图1是本实用新型示意图。

图2是环形分气管示意图。

1.进冷却气管，2.炉膛外壳，3.外保温层，4.保温夹层，5.内保温层，6.炉膛端板，7.出气口，8.环形分气管，9.孔。

具体实施方式

由图1、图2可知，本实用新型为满足扩散过程中的工艺要求，炉膛外壳(2)内的炉膛有双层保温夹层(4)，由外保温层(3)和内保温层(5)、炉膛端板(6)形成，炉膛中间上部设有进冷却气管(1)和电磁气阀，炉瞠两端下部设有出气口(7)，需要快速降温时，打开进气电磁阀吹入压缩空气，为保证冷却均匀经过环型分配管吹入。在一个环型分气管(8)的两侧面加工很多孔(9)，环形分气管(8)环绕内保温层(5)中部，冷却空气通过孔(9)吹入保温夹层，使内炉膛快速降温，当需要保温时关闭电磁气阀，由于进、出气口较小并朝下夹层内的空气无法流动所以具有良好的保温效果，同时起到很好的节能和温度稳定作用。

炉膛的内保温层为20-60mm，空气夹层为5-100mm，外保温层为20-160mm保温材质为硅酸铝纤维或常用保温材料，环形分气管为耐热不锈钢或铜或铝或铁管作，用这种方法可以使降温速度达到10-20℃/min。

如炉膛内保温层为60mm，空气夹层为20mm外保温层70mm，环形分气管为Φ20x2mm的不锈钢管弯制而成两侧均Φ4mm的小孔12个，内外保温层两端用同样的保温材料固定支撑，其它的温度控制与常规扩散炉一样，改造后的炉膛在生产中最大降温速度可达到15℃/min。