[实用新型]气动真空角阀

说明书

技术领域：

本实用新型主要涉及一种专门适用高真空设备的阀门，特别涉及气动真空角阀。

背景技术：

真空阀门是真空系统中的重要原件之一，专用于高真空设备，尤其是应用于真空检漏，ITO透明导电玻璃镀膜生产线上，以及半导体器件、太阳能器件、光学器件镀膜用真空设备中，对于其密封性必须有严格的要求。目前，为保证真空阀门的密封性常采用波纹管密封结构，但是波纹管密封真空阀门加工难，生产成本高、维护较困难，技术急需改造。

实用新型内容：

本实用新型目的是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种结构简单，生产成本低，方便维护的气动真空角阀。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型是气动真空角阀，包括有阀座，阀座上包括有进气口和出气口，其特征在于：所述进气口和出气口上均安装有法兰，通过法兰与外接管道相连接，进气口内侧固定有密封环；所述阀座上安装有气缸，气缸的活塞杆穿过阀体伸向阀座内，所述活塞杆上固定连接有活塞接杆，活塞接杆上固定连接有可覆盖进气口的活动挡板，活动挡板底面嵌套有与密封环相配合的密封圈。

所述的气动真空角阀，其特征在于：所述阀座为三通阀座，所述气缸通过法兰安装在三通阀座的一个连接法兰上。

所述的气动真空角阀，其特征在于所述气缸为带磁环的标准商用气缸；所述的密封圈为标准O型密封圈，材料为硅橡胶、氟橡胶或丁晴橡胶。

所述的阀体的两个连接法兰成90℃。

所述的气缸上安装有两个磁性开关并带有指示灯，用指示灯来表示阀门的开或关的状态。

本实用新型作为真空管路中的启闭机构，是以电信号作为阀门开关信号，依靠气体驱动气缸作为活动挡板驱动力，来控制阀门的开启或关闭。当活塞杆下行时，连接与其上的活塞接杆带着活动挡板向下，利用气缸内气体的顶力使嵌套在活动挡板上的密封圈与密封环密封，气路被关断；当气缸活塞杆上行时，活动挡板带着密封圈向上，气路被打开。

本实用新型的优点是：

本实用新型作为真空管路中的启闭机构具有工作平稳，密封可靠，寿命长和维护方便等优点，且本实用新型结构简单、成本低、制造周期短、维护简单方便。

附图说明：

附图为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：

气动真空角阀，包括有阀座1，阀座1上包括有进气口和出气口，进气口和出气口上均安装有法兰3和法兰2，进气口于阀座内侧端上固定有密封环4；阀座1上安装有气缸14，气缸14的活塞杆9穿过阀体伸向阀座1内，活塞杆9上固定连接有活塞接杆8，活塞接杆8上固定连接有可覆盖进气口的活动挡板6，活动挡板6底面嵌套有与密封环4相配合的密封圈5。

气动真空角阀按以下顺序装配：

首先将活塞接杆8的端部放入活动档板6的圆柱形孔内，卡上孔用弹性挡圈7；再把密封圈13放入气缸安装法兰11的密封槽内，用螺栓把气缸14固定于气缸安装法兰11上；接着将活塞接杆8的螺纹端旋入气缸活塞杆9的螺孔内插紧，把密封圈12放入气缸安装法兰11的下侧密封槽内，然后将其上的活动挡板6端放入阀座1内，用螺柱把气缸安装法兰11紧固于气缸连接法兰10上。工作时，通过气缸控制电磁阀控制气缸上下运动：

当气缸活塞杆9下行时，连接于其上的活塞接杆8带着活动挡板6向下，当嵌套在活动挡板6上的密封圈5与密封环4接触时，气路被切断；当气缸活塞杆9上行时，活动挡板6带着密封圈I5向上，气路被打开。