[实用新型]用于集成电路自动热压超声球焊机的防氧化保护装置无效
申请号: | 200820163659.9 | 申请日: | 2008-09-04 |
公开(公告)号: | CN201247767Y | 公开(公告)日: | 2009-05-27 |
发明(设计)人: | 张永夫;林刚强 | 申请(专利权)人: | 浙江华越芯装电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/607 | 分类号: | H01L21/607 |
代理公司: | 绍兴市越兴专利事务所 | 代理人: | 方剑宏 |
地址: | 312000浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 集成电路 自动 热压 超声 球焊 氧化 保护装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种防氧化保护装置,尤其是一种用于集成电路自动热压超声球焊机的防氧化保护装置。
背景技术
在集成电路的封装工艺过程中,需要从芯片中引线到框架引脚,由于特性问题,其中引线、焊线一般为纯金线,大部分是通过热压超声球焊机产生的高温、超声波能量以及压力来完成金线与芯片、引脚的焊接工作,但是,在焊接过程中,大量的使用金线,成本比较高,不适合大规模使用。随着目前金属提纯工艺的日趋成熟,铜线的应用已经基本符合要求,但是,在铜线作为焊线时,热压超声球焊机需对该焊线进行高温烧球,焊线的易氧化特性始终影响着焊接质量以及稳定性。
实用新型内容
为了克服上述缺点,本实用新型提供了一种向保护对象即焊线,在高温烧球的时候吹惰性保护气而实现对焊线进行防氧化保护的用于集成电路自动热压超声球焊机的防氧化保护装置。
为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案为:一种用于集成电路自动热压超声球焊机的防氧化保护装置,包括吹气嘴、气嘴固定架、流量计以及供惰性保护气的保护气排,其中吹气嘴穿过气嘴固定架与流量计连接,流量计与保护气排连接。
本实用新型的进一步设置为:所述吹气嘴与流量计、流量计与保护气排皆通过导气管连接。
本实用新型的更进一步设置为:所述气嘴固定架由绝缘材料制成。
本实用新型采用上述结构后,保护气排通过导气管使惰性保护气进入流量计,流量计对惰性保护气的流量进行调节后,再通过另一与流量计连接的导气管进入吹气嘴,最后通过吹气嘴对保护对象即焊线在高温烧球时的焊线烧球区域吹惰性保护气而使之与空气隔离,从而实现防氧化保护的目的。本实用新型结构简单、成本低,在使用中通过流量计便于调整,可以达到控制的最佳效果。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型的立体结构示意图,
图2为本实用新型安装在热压超声球焊机上的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型包括吹气嘴1、气嘴固定架2、流量计3、导气管5以及供惰性保护气的保护气排4,其中吹气嘴1穿过气嘴固定架2并通过导气管5与流量计3连接,流量计3与保护气排4通过导气管5连接。所述气嘴固定架2由绝缘材料制成,惰性保护气可为氮气。
本实用新型使用时,如图2所示,吹气嘴1通过气嘴固定架2固设在热压超声球焊机的换能器承载台11上,在换能器承载台11上安装有换能器12,换能器12的端部安装有打火杆13和劈刀14,焊线放置在劈刀14上,吹气嘴1的吹气口靠近于劈刀14的打火点位置,在工作的时候,保护气排4通过导气管5使惰性保护气进入流量计3,流量计3对惰性保护气的流量进行调节后,再通过另一与流量计3连接的导气管5进入吹气嘴1,最后通过吹气嘴1对保护对象即热压超声球焊机在对焊线进行高温烧球时的焊线烧球区域即打火点位置吹惰性保护气而使之与空气隔离,从而实现防氧化保护的目的。
另外,本实用新型还要说明的是因气嘴固定架2由绝缘材料制成,所以吹气嘴1与换能器承载台11是绝缘的,因此避免了热压超声球焊机在对焊线进行高温烧球时与打火杆13间的高压电激,使焊线的烧球质量得到保证。流量计3对惰性保护气的流量进行调节后,可以达到焊线在烧球时与空气充分隔绝,且保证与劈刀14的轴线一致。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造