[实用新型]控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置无效

专利信息
申请号: 200820163980.7 申请日: 2008-09-05
公开(公告)号: CN201251679Y 公开(公告)日: 2009-06-03
发明(设计)人: 李九生;李向军;唐晖 申请(专利权)人: 中国计量学院
主分类号: G03F7/207 分类号: G03F7/207;G03F7/09;B41N1/04
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 代理人: 张法高
地址: 310018浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 控制 ctp 系统 曝光 成像 质量 自动 调焦 装置
【权利要求书】:

1.一种控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置,其特征在于包括PSD探测器(1)、格兰—泰勒棱镜(2)、四分之一波长波片(3)、介质反射镜(4)、聚焦透镜(5)、音圈马达(6)、贴有印版的滚筒(7),介质反射镜(4)对进行曝光工作激光反射,对进行聚焦探测激光透射,探测激光经格兰—泰勒棱镜(2、四分之一波长波片(3)、介质反射镜(4)照射到贴有印版的滚筒(7)上,音圈马达(6)上设有聚焦透镜(5),格兰—泰勒棱镜(2)上反射光反射到PSD探测器(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置,其特征在于,所述的介质反射镜(4)为对830nm波长激光反射,对630nm波长激光透射。

3.根据权利要求1所述的一种控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置,其特征在于,所述的PSD探测器(1)为二维位置敏感传感器。

4.根据权利要求1所述的一种控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置,其特征在于,所述的聚焦透镜(5)与贴有印版的滚筒(7)的距离为4.5mm时,对于830nm波长激光聚焦,对630nm波长激光光点成像。

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