[实用新型]控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置无效
申请号: | 200820163980.7 | 申请日: | 2008-09-05 |
公开(公告)号: | CN201251679Y | 公开(公告)日: | 2009-06-03 |
发明(设计)人: | 李九生;李向军;唐晖 | 申请(专利权)人: | 中国计量学院 |
主分类号: | G03F7/207 | 分类号: | G03F7/207;G03F7/09;B41N1/04 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 张法高 |
地址: | 310018浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 控制 ctp 系统 曝光 成像 质量 自动 调焦 装置 | ||
1.一种控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置,其特征在于包括PSD探测器(1)、格兰—泰勒棱镜(2)、四分之一波长波片(3)、介质反射镜(4)、聚焦透镜(5)、音圈马达(6)、贴有印版的滚筒(7),介质反射镜(4)对进行曝光工作激光反射,对进行聚焦探测激光透射,探测激光经格兰—泰勒棱镜(2、四分之一波长波片(3)、介质反射镜(4)照射到贴有印版的滚筒(7)上,音圈马达(6)上设有聚焦透镜(5),格兰—泰勒棱镜(2)上反射光反射到PSD探测器(1)上。
2.根据权利要求1所述的一种控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置,其特征在于,所述的介质反射镜(4)为对830nm波长激光反射,对630nm波长激光透射。
3.根据权利要求1所述的一种控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置,其特征在于,所述的PSD探测器(1)为二维位置敏感传感器。
4.根据权利要求1所述的一种控制CTP系统曝光成像质量的自动调焦装置,其特征在于,所述的聚焦透镜(5)与贴有印版的滚筒(7)的距离为4.5mm时,对于830nm波长激光聚焦,对630nm波长激光光点成像。
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