[实用新型]直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置有效
申请号: | 200820166558.7 | 申请日: | 2008-10-30 |
公开(公告)号: | CN201301357Y | 公开(公告)日: | 2009-09-02 |
发明(设计)人: | 曹建伟;张俊;邱敏秀 | 申请(专利权)人: | 上虞晶盛机电工程有限公司;杭州慧翔电液技术开发有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人: | 唐银益 |
地址: | 310013*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 直拉式单晶炉中 晶体 液面 熔接 状态 自动检测 装置 | ||
1、一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置,包括石英坩埚,其特征在于,还包括滑轮、钢丝绳和金属材质的籽晶夹头;钢丝绳的一个端头与籽晶夹头相连,另一端头通过滑轮后绕在外层包覆绝缘材料的缆索管上,缆索管与升降驱动机构连接;钢丝绳与滑轮之间是导通的,滑轮和石英坩埚均通过引出的导线连接至一个检测报警电路,该检测报警电路包括绝缘电阻与电容检测电路、阈值比较电路、光电隔离与驱动输出电路。
2、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置,其特征在于,所述检测报警电路通过信号线与升降驱动机构连接。
3、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置,其特征在于,所述绝缘电阻与电容检测电路包括:集成运放U2、电阻R14、电阻R7、电阻R3、电阻R13、电阻R11、电阻R18、电容C1、电容C2、电容C4、电容C13、电位器R0和稳压二极管Z1;电容C4和电阻R18并联一端接电源地一端接电阻R14,电阻R13与电位器R0串联,一端接电阻R14和集成运放U2的第2引脚,另一端接集成运放U2的第6引脚;电容C1并联在集成运放U2的第2、第6引脚上;电阻R7一端接电源-15V,另一端接集成运放U2的第3引脚;电阻R13和稳压二极管Z1并联一端接电源地,一端接集成运放U2的第3引脚;电容C2一端接电源地,一端接集成运放U2的第8引脚;集成运放U2的第6引脚接电阻R11和电容C13构成的一阶低通滤波器后输出。电容C4和电阻R18分别为缆索管与炉体之间电容和绝缘电阻。
4、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置,其特征在于,所述阈值比较电路包括:集成运放U0、集成运放U1、电阻R6、电阻R4、电阻R2、电阻R1、电阻R5、电容C3、电容C12、电容C0、电位器R9、二极管D0;电阻R6一端连接C3,另一端接集成运放U1的第3引脚;电容C12一端接另一端接集成运放U1的第3引脚,另一端接电源地;集成运放U1的第2引脚接第6引脚和电容C3;电容C0一端接电源地,一端接集成运放U1的第8引脚;电阻R2一端接集成运放U1的第6引脚,另一端接集成运放U0的第2引脚;电阻R4一端接集成运放U0的第2引脚,另一端接电位器R9的第2引脚,电位器R9的第1、3引脚分别接电源+15V和-15V;电阻R1和二极管D0并联一端接集成运放U0的第6引脚,一端接集成运放U0的第2引脚;电阻R5一端接集成运放U0的第3引脚,一端接电源地。
5、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置,其特征在于,所述光电隔离与驱动输出电路包括光耦U3、电阻R8、电阻R12、电阻R17、电阻R16、电阻R15、三极管Q0、发光二极管D1;发光二极管D1的正极为电压信号输入端,负极接光耦U3的输入级正极;电阻R8一端接电源地,另一端接光耦U3的输入级负极;电阻R12一端接电源+24V,另一端接光耦U3的输出级集电极;电阻R17一端接三极管Q0的集电极,另一端接光耦U3的输出级集电极;电阻R15一端接电源+24V,另一端接三极管Q0的集电极;电阻R16一端接光耦U3的输出级发射极,另一端接三极管Q0的基极;三极管Q0的发射极接信号地;三极管Q0的集电极为电路的信号输出端。
6、根据权利要求1所述的直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置,其特征在于,所述直拉式单晶炉有一炉体,石英坩埚外接设一个石墨坩埚,导电材料的坩埚托杆连接石墨坩埚和炉体,引出的导线设于炉体上;所述钢丝绳和滑轮与炉体之间是绝缘的。
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