[实用新型]真空镀膜设备

权利要求书

1、一种真空镀膜设备，有真空室，真空室内安装有工件架，真空室上有供工件进出的门，其特征是所说门设置在真空室顶部。

2、如权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征是所说真空室顶部设置的进出工件的门是真空室的密封顶盖。

3、如权利要求1或2所述的真空镀膜设备，其特征是所说工件架安装在真空室顶部，其安装结构是有一行星齿轮机构，工件架安装在行星齿轮轴上，太阳齿轮安装在真空室侧壁上。

4、如权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征是所说行星齿轮机构中的行星齿轮架驱动轴与行星齿轮架是以花键结构连接的，该驱动轴穿出顶盖安装在驱动机构上。

5、如权利要求3或4所述的真空镀膜设备，其特征是所说太阳齿轮是安放在固定于真空室壁上的太阳齿轮座上的。

6、如权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征是所说真空室的侧壁上设置有可依中心滚动的滚动机构，所说工件架所安装的行星齿轮架向外伸展的悬臂搁置在该滚动机械上。