[实用新型]双桥式厚膜压力传感器无效
申请号: | 200820187513.8 | 申请日: | 2008-08-08 |
公开(公告)号: | CN201266126Y | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 丁立新;付师杰 | 申请(专利权)人: | 西安先行测控系统有限公司淄博分公司 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人: | 巩同海 |
地址: | 255086山东省淄博市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双桥 式厚膜 压力传感器 | ||
1、一种双桥式厚膜压力传感器,包括基座,设置在基座上的感压膜片,设置在感压膜片上的可动感压膜片,及与可动感压膜片相连接的测量电路和处理电路,其特征是:可动感压膜片为双桥电路结构。
2、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:基座与感压膜片是一体式结构。
3、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:双桥电路结构的可动感压膜片烧接在基座上的感压膜片上。
4、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片间设有烧接附层。
5、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:其特征是:双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片上设有绝缘保护层。
6、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:双桥电路结构为双桥惠斯顿电桥。
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