[实用新型]光罩盒有效
| 申请号： | 200820189661.3 | 申请日： | 2008-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN201352302Y | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 林志铭 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/00 | 分类号： | G03F1/00;G03F7/20;H01L21/673 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光罩盒 | ||
1、一种光罩盒，其包含：
一上盖体；
一下盖体，用以与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩；
至少一锁扣件；以及
至少一锁扣座；
其特征在于，该上盖体以及该下盖体具有至少一对应的侧边，且该锁扣件设于该上盖体的侧边，而另一盖体的侧边具有至少一锁扣槽设于对应该锁扣件的位置，该锁扣座固设于该锁扣槽中。
2、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该锁扣座是以包入射出成型的方式固设于该下盖体中。
3、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该锁扣座是以卡设的方式固设于该下盖体中。
4、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该锁扣座材质的耐磨度高于该下盖体材质的耐磨度。
5、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该锁扣座为高分子材料，且该高分子材料为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物。
6、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该光罩盒为光罩传送盒或光罩保存盒。
7、一种光罩盒，其特征在于，包含：
一上盖体；
一下盖体，用以与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩；
至少一锁扣件；以及
至少一锁扣座；
其特征在于，该上盖体以及该下盖体具有至少一对应的侧边，且该锁扣件设于该下盖体的侧边，而另一盖体的侧边具有至少一锁扣槽设于对应该锁扣件的位置，该锁扣座固设于该锁扣槽中。
8、如权利要求7所述的光罩盒，其特征在于，该锁扣座是以包入射出成型的方式固设于该上盖体中。
9、如权利要求7所述的光罩盒，其特征在于，该锁扣座是以卡设的方式固设于该上盖体中。
10、如权利要求7所述的光罩盒，其特征在于，该锁扣座为高分子材料，且该高分子材料为聚醚醚酮类化合物或聚酰亚胺类化合物。
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