[实用新型]等离子体微束流发生器

权利要求书

1、一种新型等离子体微束流发生器，包括一个电源，一个供气源，等离子体微束流发生器主体，其特征在于：等离子体微束流发生器主体包括一个或多个绝缘介质管，在该绝缘介质管内外分别设有电极，该电极与一个射频或一个高频电源连接，该等离子体微束流外设有一个壳体，该壳体的一侧设有一个或多个喷口，另外侧设有进气连接口、气体流量控制阀开关，供气源中的气体在流经绝缘介质管内外电极之间的间隙时，被击穿电离形成等离子体向壳体外喷出。

2、根据权利要求1所述的一种等离子体微束流发生器，其特征在于：该等离子体微束流发生器主体被一个壳体包覆，在该壳体一侧设有一个或多个喷口，另外侧设有进气连接口、气体流量控制阀开关和电源控制开关。

3、根据权利要求1所述的一种等离子体微束流发生器，其特征在于：电源工作频率可以是在射频或是在高频范围，电源的功率取值是在100W以内，电源可以被安装在壳体内，也可以置于壳体外，电源是通过电缆导线与等离子体微束发生器电极连接。

4、根据权利要求1所述的一种等离子体微束流发生器，其特征在于：当等离子体微束流发生器采用高频电源供电时，该等离子体微束流主体是采用一个或多个绝缘介质管，包覆在该绝缘介质管外部设有一定间隔并分别与高频电源连接的两个金属圆环外电极，以及一个被绝缘介质管包覆的金属管或金属杆悬浮电极。

5、根据权利要求1所述的一种等离子体微束流发生器，其特征在于：当等离子体微束流发生器采用射频电源供电时，该等离子体微束流主体是采用一个或多个绝缘介质管，包覆在该绝缘介质管外部的一个金属圆环外电极，以及被绝缘介质管包覆的金属管或金属杆内电极，内外电极分别与射频电源的输出端连接。

6、根据权利要求1所述的一种等离子体微束流发生器，其特征在于：被绝缘介质管包覆的金属内电极和绝缘介质管是采用绝缘材料连接件固定在一起，并使金属内电极处于介质管的中心位置。

7、根据权利要求1所述的一种等离子体微束流发生器，其特征在于：当备绝缘介质管包覆的金属电极为直杆时，其外径与介质管的内径之间设有一定的间隙，工作气体是从间隙穿过，并通过介质管的端部。

8、根据权利要求1所述的一种等离子体微束流发生器，其特征在于：当备绝缘介质管包覆的金属电极为金属管时，其金属管外径与绝缘介质管的内径紧密配合，工作气体是从金属管中穿过，并通过介质管的端部。

9、根据权利要求1所述的一种等离子体微束流发生器，其特征在于：供气源所采用的气体是惰性气体氩气或是氦气，供气源的气体是通过气体导管、气体流量控制开关和结缘介质管，并在流经绝缘介质管内外电极之间的间隙时，被击穿电离形成等离子体向壳体外喷出。