[实用新型]带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体领域的一种硅片清洗篮的部件，特别是带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽。

背景技术

硅片清洗篮用于同时安插多个硅片，安插好硅片被放置在硅片清洗篮中，经过一系列的清洗步骤，完成清洗硅片的任务。

位于硅片清洗篮下部的安插底槽由一组槽齿和一组槽口组成。硅片底部可以安插在槽齿与槽齿之间的槽口中，为了经久耐用，目前的硅片清洗篮整体都是由较硬的材料制成。在硅片清洗工艺中，插满硅片的硅片清洗篮需要进行超声波震荡或其它方式清洗、甩干、转移等一系列的步骤，导致硅片和清洗篮的槽齿、槽口的接触部分不断受力，产生相互碰撞、摩擦，容易造成硅片和清洗篮的槽齿、槽口的接触部分损伤，影响硅片质量。

传统的硅片清洗篮的安插底槽没有安装缓冲装置。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种不容易损伤硅片的带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽。

本实用新型的技术方案为：

一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置活动的设置在可以接触硅片底部的清洗篮安插底槽的外表面。

一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置以缠绕的方式活动的固定设置在硅片清洗篮安插底槽的外表面。

一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置以环绕的方式活动的固定设置在硅片清洗篮安插底槽的外表面。

一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置的形状是线型的。

一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置的形状是带型的。

一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置的材料可以是弹性皮筋。

一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置的材料可以是绳子。

本实用新型的优点：带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽可以缓冲硅片和清洗篮的槽齿、槽口的接触部分之间的碰撞和摩擦，可以减少或避免硅片在清洗过程中造成损伤，提高硅片质量。

附图说明

附图1是本实用新型的结构示意图。

附图2是本实用新型的使用状态示意图。

附图3是本实用新型在一种硅片清洗篮一侧中的结构状态示意图。

附图4是本实用新型在一种硅片清洗篮中的使用状态示意图。

附图5是传统的硅片清洗篮一侧的安插底槽的使用状态示意图。

附图标记：槽口1，硅片2，缓冲装置3。

具体实施方式

实施例1、一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置3活动的设置在可以接触硅片2底部的清洗篮安插底槽的外表面。

实施例2、一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置3以缠绕的方式活动的固定设置在硅片清洗篮安插底槽的外表面。其余同实施例1。

实施例3、一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置3以环绕的方式活动的固定设置在硅片清洗篮安插底槽的外表面。其余同实施例1。

实施例4、一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置3的形状是线型的。其余同实施例1。

实施例5、一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置3的形状是带型的。其余同实施例1。

实施例6、一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置3的材料可以是弹性皮筋。其余同实施例1。

实施例7、一种带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽，其中：缓冲装置3的材料可以是绳子。其余同实施例1。

工作原理：安插底槽由于安装了缓冲装置3，硅片2底部将直接接触缓冲装置3，硅片2底部不再接触硬质的槽口1底部，因而硅片2底部不容易损伤。特别是弹性皮筋、绳子等软质材料的良好缓冲作用，可以减少或避免硅片在清洗过程中造成损伤，提高硅片质量。