[实用新型]真空离子镀膜机的挂杆悬挂装置有效
申请号: | 200820200619.7 | 申请日: | 2008-09-13 |
公开(公告)号: | CN201265039Y | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 苏东艺 | 申请(专利权)人: | 苏东艺 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 江门嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 谭志强 |
地址: | 510520广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 离子 镀膜 悬挂 装置 | ||
1、一种用于真空离子镀膜机的挂杆悬挂装置,包括连接在真空镀膜室内的挂架(1)和连接在挂架(1)下端的挂杆(2),其特征在于:所述挂架(1)内部空心,其上端与真空镀膜室连接,下端设有开口(11),侧面设有缺口(12),所述开口(11)的一端延伸至挂架(1)侧面和缺口(12)相交;所述挂杆(2)的宽度小于挂架(1)下端开口(11)的宽度,在挂杆(2)上端设有悬挂台阶(21),所述悬挂台阶(21)的宽度大于挂架(1)下端开口(11)的宽度,小于挂架(1)侧端缺口(12)的宽度;在悬挂状态下,挂杆(2)的悬挂台阶(21)卡置于挂架(1)下端开口(11)的上面。
2、根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜机的挂杆悬挂装置,其特征在于:所述挂架(1)和挂杆(2)均为圆柱形。
3、根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜机的挂杆悬挂装置,其特征在于:所述挂杆(2)上端的悬挂台阶(21)为环形突起。
4、根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜机的挂杆悬挂装置,其特征在于:所述挂架(1)上端通过螺栓与真空镀膜室连接。
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