[实用新型]真空离子镀膜机的自转机构有效
申请号: | 200820200630.3 | 申请日: | 2008-09-13 |
公开(公告)号: | CN201265038Y | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 苏东艺 | 申请(专利权)人: | 苏东艺 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/48 |
代理公司: | 江门嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 谭志强 |
地址: | 510520广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 离子 镀膜 自转 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种自转机构,特别是一种真空离子镀膜机的自转机构。
背景技术
目前的真空离子镀膜机内,用于悬挂镀膜件自转的自转机构包括连接真空镀膜室的自转轴座和安装在自转轴座内的自转轴,自转轴上端连接齿轮,下端连接有悬挂镀膜件的挂钩,当真空镀膜室内的转架公转时,与转架啮合的齿轮的运动可带动自转轴自转,其中,自转轴通过轴承安装在自转轴座内,并由轴承支撑旋转;由于真空镀膜室的使用环境限制,轴承不能使用润滑脂,不利于长期使用,而且在长期旋转发热时轴承容易卡死,影响真空离子镀膜机的正常工作,此外,真空镀膜室内的温差较大,原件的热胀冷缩较明显,而轴承精度要求较高,对温度敏感,热胀冷缩会影响轴承的使用寿命。
发明内容
针对上述问题,本实用新型的目的在于提供一种旋转更可靠,使用寿命更长的真空离子镀膜机的自转机构。
本实用新型解决其问题所采用的技术方案是:
一种真空离子镀膜机的自转机构,包括连接在真空镀膜室内的自转轴座和自转轴,其中,自转轴座由上、下轴座通过螺栓连接组合而成并将自转轴的中段套装于其内,所述自转轴伸出自转轴座的上端作为齿轮的中转轴连接于齿轮中间,下端连接挂钩,其特征在于:所述自转轴座内围绕自转轴设有承接自转轴的滚珠组。
进一步,所述滚珠组分别设置于自转轴座内与自转轴连接的上、下两端。
此外,所述滚珠组包括滚珠和外、内导套,其中,外导套设于滚珠与自转轴座的连接侧,内导套设于滚珠与自转轴的连接侧。
其中,所述外导套内侧与滚珠接触端设有安置滚珠的缺口;所述内导套外侧与滚珠接触端设有安置滚珠的缺口。
本实用新型的有益效果是:自转轴采用滚珠承接,能起到很好的固定、转动效果,在没有润滑脂的环境下,滚珠能较好保证长时间的转动,进一步,滚珠与内、外导套的组合有一定的膨胀裕度,可适应热胀冷缩环境,不易损坏;本实用新型旋转可靠,使用寿命长,更合适于真空镀膜室的使用环境。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
图1是本实用新型真空离子镀膜机的自转机构的结构示意图;
图2是本实用新型的自转机构安装在真空离子镀膜机的示意图。
具体实施方式
参照图1~图2,一种真空离子镀膜机的自转机构,包括连接在真空镀膜室内的自转轴座1和自转轴2,其中,自转轴座由上轴座11和下轴座12通过螺栓连接组合而成,并将自转轴2的中段套装于其内,自转轴2上下两端伸出自转轴座1,其中,上端作为齿轮3的中转轴,通过螺栓连接于齿轮3中间,下端设有内螺纹连接挂置镀膜件的挂钩4,在自转轴座1内围绕自转轴2设有滚珠组5,滚珠组5取代传统的轴承来承接自转轴2。
本实用新型优选将滚珠组5分别设置于自转轴座1内与自转轴2连接的上、下两端。
滚珠组5包括若干滚珠51,为保证自转轴的定位,在滚珠51与自转轴座1连接侧设有外导套61,与自转轴2连接侧设有内导套62,滚珠51与外导套61、内导套62统一组合为滚珠组5。
其中,外导套61内侧与滚珠51接触端设有安置滚珠51的缺口;内导套62其外侧与滚珠51接触端设有安置滚珠51的缺口。
为便于安装,自转轴2的中段突起,并与较细的上、下端形成上、下台阶面,可将滚珠组5分别设于自转轴2的上台阶面的上方和下台阶面的下方:用上台阶面承接滚珠组5并由自转轴座顶端配合限位;用自转轴座1底端承接滚珠组5并由下台阶面配合限位。
滚珠51和外导套61、内导套62的组合的滚珠组5完全取代了传统的轴承,在没有润滑脂的环境下,滚珠组5能较好保证长时间的转动,而且,这样的的组合有一定的膨胀裕度,可适应热胀冷缩环境,不易损坏,更适合于在真空离子镀膜机内使用。
当然,本实用新型的保护范围不只局限于此,只要是通过滚珠组5来承接自转轴2的自转机构,均属于本实用新型的保护范围。
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