[实用新型]一种光斑指示系统

说明书

技术领域

本实用新型属于光学领域，尤其涉及一种光斑指示系统。

背景技术

光斑指示系统是激光微细加工设备用来对可见与不可见激光光斑进行指示的光学系统。此系统还要与激光共聚焦显微系统同时工作。现有技术中两种常用的方法为：

(1)设置另外的指示光点直接照射到待加工位置，并调整用于加工的不可见激光与指示光点重合，此方法调整困难，指示光点定位精度极低，不能用于高精度的激光微细加工。

(2)将指示光路用半反射镜引入与用于加工的不可见激光轴线重合，同时经显微系统聚焦到待加工位置，此方法指示光点只能表示出待加工区域的中心点，不能指示出所有激光加工区域，激光微细加工区域的形状与精度没法保证。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，提供一种光斑指示系统，能够指示激光加工区域的形状，提高激光微细加工的精度。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种光斑指示系统，包括提供可指示激光的指示光的聚光系统，以及将所述指示光光轴与激光光轴重合的耦合镜，于所述指示光与激光重合后的光轴上，设置有用于将所述指示光和激光整形为相同形状与大小的整形器。

指示光与激光通过耦合镜重合后，穿过整形器，整形器将指示光和激光整形为形状大小一样，并呈现出所需几何形状的混合光束，混合光束照射于被观测物面上后，指示激光加工区域的形状，从而提高了激光微细加工的精度。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种光斑指示系统工作示意图；

图2是本实用新型提供的一种光斑指示系统的原理示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请参阅图1和图2，本实用新型实施例提供一种光斑指示系统10，包括提供可指示激光的指示光的聚光系统2，以及将指示光光轴21与激光光轴11重合的耦合镜3，于指示光与激光重合后的光轴4上，设置有用于指示光和激光整形的整形器5。

具体地，上述聚光系统2包括依次同光轴设置的指示光源22、透镜23、第一球面镜24和第二球面镜25。其中指示光源22可以是LED或光纤的发光面，也可以是灯泡类的点状发光面，指示光源22所提供的光谱范围比较宽，波长在350～700nm之间的都可以使用。

宽光谱的指示光源22发出的指示光，经过透镜23、第一球面镜24和第二球面镜25聚焦后，形成有一定面积的均匀光斑，并被耦合镜3反射，使指示光光轴21与激光光轴11重合。

于引入激光的光轴11上设置有一反射镜或反射棱镜12，激光引入后通过反射镜或反射棱镜12照射于耦合镜3上，激光穿过耦合镜3后，与指示光混合。

本实施例中，整形器5为形状大小都可变的光阑，由于加工的对象有不同大小的尺寸与形状，而且有不同工艺需要，通过光阑来调整混合光束大小和边缘位置。

本实用新型实施例采用的激光还可以是其他类型的光束，只要能够通过指示光指示光束的形状大小，均在本实用新型的保护范围之内。

因此，指示光与激光通过耦合镜3混合后，穿过整形器5，整形器5将指示光和激光整形为形状大小一样，并呈现出所需几何形状的混合光束，混合光束照射于被观测物面6上后，指示激光加工区域的形状，从而提高了激光微细加工的精度。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。