[实用新型]移动式气动阀气源供气组

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种利用气流控制流路开关的启动阀体，尤其涉及一种能够应对系统失电、气源供应中断需求而快速手动切换外部气源导通的移动式气动阀气源供气组。

背景技术

气动阀技术在工业、民用、科学研究领域都有着广泛应用。例如半导体制程设备、吸尘器等，工业上最典型的应用是在半导体生产制造中各种气动阀的使用。特别地，为保证晶圆产品性能完全符合设计要求以及较高的良品率，在晶圆制造的各个流程中所使用的气体供应系统要求供应的连续稳定性。因此，气动阀的工作稳定性对此有着举足轻重的影响。

作为公知的常识，气体供应系统一般由气动阀控制气体的通断，其开启、关闭需要相应的气源(N₂ or CDA)作为其驱动力。而气动阀的气源正常情况下由PLC及电磁阀组对其进行相应的自动控制，当紧急情况下系统失电时，将导致系统的供应中断，造成的后果是相当严重的，产品可能报废。

发明内容

针对上述现有技术的存在的缺陷，本实用新型的目的旨在提供一种移动式气动阀气源供气组，使用外接气源对多个气动阀进行操作，避免因紧急的掉电情况而导致晶圆制造所必须的气体供应系统供应中断现象。

本实用新型的目的，其实现所采用的技术方案为：

移动式气动阀气源供气组，其特征在于：所述气源供气组移动连接在气动阀及气源之间，其包括箱体外壳、管路分支、气源气体的手动开关以及调压装置，其中复数条管路分支容设在箱体外壳内，通过共用的输入口及对应数量的输出口与外界相通，气源气体的手动开关分别设置于各管路分支的岔口，而调压装置接设在气源供气组共用的输入口上。

进一步地，所述箱体外壳上设有对应于气源软管的接头，并且所述箱体外壳上设有把手。

进一步地，所述管路分支为三通式接头。

进一步地，所述气源气体的手动开关为上下拨位气体通路开关。

进一步地，所述调压装置为手动调压阀。

应用本实用新型的设计方案，其有益效果在于：

在紧急情况下手动对气体供应系统进行人为操作，降低了电气故障对气体供应系统连续供应的中断影响，保证了晶圆产品制造的连续性及良品率。

附图说明

图1是本实用新型一具有四个管路分支实施例的结构原理图；

图2是本实用新型实物的正视图；

图3是本实用新型实物的背视图；

图4是本实用新型实物内部结构的俯视图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易理解，下面特结合本发明一优选实施例，作详细说明如下：

如图1本实用新型优选实施例的结构原理图，及图2至图4本实用型新实物由外而内的各向视图所示，该移动式气动阀气源供气组，是特别设计用于连接气动阀及气源之间，当紧急情况下系统失电时，向多个气动阀可控地提供外部气源的装置，其包括箱体外壳6、管路分支3a～3d、气源气体的手动开关以及调压装置1，其中本实施例中管路分支为三通式接头，其数量为四个，容设在箱体外壳6内，因此对应地，该气源供气组设有一公用的气源输入口4及四个气源输出口5a～5d，而在各管路分支气源输出的岔口上设有控制本支路导通、截断的气源气体手动开关2a～2d一一对应，该气源气体手动开关为上下拨位式的气体通路开关。并且，在气源输入口内设有一可在外部由工作人员控制的手动调压阀1。除此之外，该箱体外壳6上对应于输入口及各输出口设有气源软管快速接头，这些接头的尺寸可根据实际需要选用合适管径的快速接头，就晶圆制造所需的气体供应系统而言，一般选用管径为1分或2分的快速接头即可。为进一步提升该气动阀气源供气组的便携性，此处在箱体外壳6上还可增设手提把手。

本实用新型移动式气动阀气源供气组的操作方法是：

首先.在输入快速接头处插入可输入相应驱动气源的软管；

然后.将各输出快速接头处接软管到所需要操作的气动阀；

接着.开启上游的气源阀门从输入口通入相应的气源；

最后.按需将本装置正面的各开关任意一个或多个向上拨动，以输出气源压力开启相应的气动阀；当无需再提供外部气源时，向下拨动开关即可关闭气源，使得相应的气动阀泄压。

本实用新型移动式气动阀气源供气组推广应用后，在紧急情况下手动对气体供应系统进行人为操作，降低气体供应系统导常时对晶圆制造的影响；在某些情况下气体供应系统自动程序无法实现的气动阀操作，可使用本装置实现人为操作，达到系统管理人员的操作目的。此外，便携式的箱体外壳设计，使得该气源供气组装置具有使用、存放方便的优点。

综上对于实施例特征的详细描述，旨在加深对本实用新型移动式气动阀气源供气组的理解，并非以此限制本专利应用实施的范围及多变性：其中管路分支的数量可为更多，手动开关的控制方式亦具有多选择性。故凡是相对于本实用新型上述实施例等效或近似的结构变换，可以实现上述目的的设计方案，均应该被视为属于本专利保护的范畴。