[实用新型]多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置

说明书

(一)技术领域

本实用新型涉及一种用于多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置。主要用于对涂有氮化硅膜的石英坩埚进行烘烤。属太阳能电池技术领域。

(二)背景技术

多晶硅铸锭采用石英坩埚作为容器，多晶硅在其中熔融、冷却、退火结晶。由于普通石英坩埚杂质含量大，高纯坩埚成本又太高，而且坩埚会与熔融硅产生如下反应：

SiO₂+Si＝2SiO

引起粘埚现象发生，同时对成品电池片电性能不利的氧元素和杂质元素也能混入锭中。所以采用的方法是在普通石英坩埚内壁喷涂一层氮化硅。

在本实用新型作出以前，以往采用的多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂工艺是：将粉末氮化硅和去离子水按照一定配比制成浆状，在常压下喷涂在坩埚内壁，在普通烘箱中烘干。它主要存在以下不足：没有注意喷涂和烘干过程中洁净度的需求。

(三)发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种合理、洁净和经济的多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置。

本实用新型的目的是这样实现的：一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置，包括石英坩埚、洁净烘箱、真空泵、真空计、加热棒、阀门、管路和Ar气站，所述石英坩埚置于密闭的洁净烘箱内，所述洁净烘箱与真空泵相连，洁净烘箱上安装真空计，洁净烘箱内设置有加热棒，洁净烘箱通过管路与Ar气站相连，管路上设有阀门。

本实用新型有以下特点：

1、氮化硅膜能阻止高温熔融的硅液与石英坩埚反应，避免出现粘埚现象。

2、同时氮化硅膜的出现，替代了高纯石英坩埚的使用，能节约成本，减少投资。

3、还能最大程度阻止对成品电池片电性能不利的氧元素和杂质元素的混入，为电池片的质量提供了保障。

(四)附图说明

图1为本实用新型多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置示意图。

图中附图标记说明：

石英坩埚1

洁净烘箱2

真空泵3

真空计4

加热棒5

阀门6

管路7

Ar气站8。

(五)具体实施方式

参见图1，本实用新型所涉及的多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置，主要由石英坩埚1、洁净烘箱2、真空泵3、真空计4、加热棒5、阀门6、管路7和Ar气站8组成。所述石英坩埚1置于密闭的洁净烘箱2内，所述洁净烘箱2与真空泵3相连，洁净烘箱2上安装真空计4，洁净烘箱2内设置有加热棒5，洁净烘箱2通过管路7与Ar气站8相连，管路7上设有阀门6。