[实用新型]移动式静电消除器无效
| 申请号： | 200820217048.8 | 申请日： | 2008-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201360380Y | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 夏剑平 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/00 | 分类号： | H05F3/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉;姚姣阳 |
| 地址： | 215025江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 移动式 静电 消除 | ||
【权利要求书】：
1.移动式静电消除器，涉及手推车、静电消除器以及不间断电源，其特征在于：所述静电消除器由工厂环境下的固定式转变为与手推车相结合的移动式，并与所述手推车上装设的不间断电源电性相接。
2.根据权利要求1所述的移动式静电消除器，其特征在于：所述手推车具有承放运送光罩、晶圆或ESD高敏元器件的平台。
3.根据权利要求1所述的移动式静电消除器，其特征在于：所述手推车上的静电消除器悬空设置于平台上。
4.根据权利要求1所述的移动式静电消除器，其特征在于：所述静电消除器为升降式设计。
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