[实用新型]一种蜂窝状介质阻挡放电低温等离子体发生器

权利要求书

1.一种蜂窝状介质阻挡放电低温等离子体发生器装置，包括壳体，进气口(5)，排气口(6)，复合高压电极(1)、石英介质(3)、低压电极(4)和催化腔(7)，其特征在于，所述高压电极(1)采用复合结构：导电金属棒(20)外层为石英玻璃棒(21)，下面采用螺栓(22)连接一金属圆盘(23)，导电金属棒(20)位于金属圆盘中心(23)。

2.根据权利要求1所述的一种蜂窝状介质阻挡放电低温等离子体发生器装置，其特征在于，所述催化腔(7)通过螺栓和壳体部分相连。

3.根据权利要求1所述的一种蜂窝状介质阻挡放电低温等离子体发生器装置，其特征在于，所述低压电极(4)为蜂窝状排列。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种蜂窝状介质阻挡放电低温等离子体发生器装置，其特征在于，所述低压电极(4)由32根管状金属棒组成，径向方向与排气方向平行。

5.根据权利要求4所述的一种蜂窝状介质阻挡放电低温等离子体发生器装置，其特征在于，所述32根管状金属棒沿金属圆盘截面垂直方向均与分布。