[实用新型]物理气相沉积加热系统过流保护装置无效
| 申请号： | 200820218830.1 | 申请日： | 2008-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN201280591Y | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王学研;徐英凤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理 沉积 加热 系统 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，其特征在于包括：
过流检测电路，通过感应线圈(L)检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出触发信号；
过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时控制加热系统电流调节电位器(W)的电源切断；
工作电源电路，为上述各电路中的用电器件提供工作电源。
2.按权利要求1所述的物理气相沉积加热系统过流保护装置，其特征在于：所述过流检测电路中具有用于检测加热系统加热电源线电流的感应线圈(L)，感应线圈(L)的电流信号经放大器(A1)后接至比较器(A2)的负输入端，比较器(A2)的正输入端接有设定电路，输出端与过流保护控制电路中的三极管(N1)的基极相连。
3.按权利要求1所述的物理气相沉积加热系统过流保护装置，其特征在于：所述过流保护控制电路经三极管(N1)接收过流检测电路的信号，三极管(N1)的集电极与时钟延时模块(A5)接至继电器(J1)的线圈，继电器(J1)的常开接点(J1-1)设于加热系统电流调节电位器(W)的调节控制回路中。
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