[实用新型]用于溅射磁性材料的磁控靶

权利要求书

1.一种溅射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控溅射靶，包括外屏蔽罩(1)、磁钢座(2)、极靴(3)、绝缘座(8)、固定座(6)、靶材压盖(13)、内磁钢(12)、外磁钢(11)、进水嘴(7)、出水嘴(4)、联接螺栓和密封橡胶圈(10、10′、10″、10″′)；其特征在于：靶材(14)直接放在磁钢座(2)上，通过靶材压盖(13)固定；磁钢座(2)材料为无氧铜，中心放内磁钢(12)，周边钻若干小孔放外磁钢(11)，内磁钢(12)和外磁钢(11)极性朝向相反；极靴(3)材料为导磁材料，磁控靶工作时直流或者射频电源加在极靴(3)上；极靴(3)下面焊接进水嘴(7)和出水嘴(4)，冷却水低进高出，靠密封橡胶圈(10、10′、10″、10″′)实现密封以保证内外磁钢不和冷却水直接接触。

2.按照权利要求1所述溅射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控溅射靶，其特征在于：外屏蔽罩(1)和固定座(6)之间采用螺纹手动可调结构，可根据靶材的厚度上下调节，把靶头带电部分整个罩起来，防止放电。

3.按照权利要求1所述溅射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控溅射靶，其特征在于：绝缘座(8)为可以在真空下使用的耐热绝缘材料，起到固定座(6)和极靴(3)之间的绝缘作用；螺钉(15′)穿过绝缘座(8)拧在磁钢座(2)上，把极靴(3)压紧在绝缘座(8)和磁钢座(2)之间；极靴(3)和磁钢座(2)工作时都带电，螺钉(15′)也带电，为了避免螺钉(15′)和固定座(6)之间放电，用绝缘帽(5)塞在两者之间起绝缘作用；固定座(6)和绝缘座(8)之间的密封胶圈(10′)是靠螺钉(15)拧在螺钉套(9)上压紧的。