[实用新型]一种二等量块接触式激光干涉仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种二等量块的检定设备，特别涉及一种二等量块接触式激光干涉仪。

背景技术

按照我国现行量块标准和检定规程，量块按其长度测量不确定度分为一、二、三、四、五等级，按国际建议，二等量块长度测量可以用光波波长直接测量，也可以用一等量块作标准进行比较测量，但是目前我国还没有开展一等量块的检定，只好采用激光干涉仪直接测量。而使用激光干涉仪也有二种方法，一种方法是用柯式干涉仪原理的非接触式测量法，另一种是接触式测量法。柯氏干涉仪是较早使用光波测量量块的干涉仪器，是基于小数重合法基础上的，由于小数重合法本身的特点，柯氏干涉仪测量量块之前对被测量块要进行初测，而且需要量块与平晶研合来进行，操作者劳动强度比较大，对操作者技术水平要求高，而普通的接触式测量法采用被测量块与标准二等量块进行比较的测量方法，由于手工操作对于二等量块的测量精度低，误差大，本实用新型的优点是不需要与标准量块进行比较，直接测量、自动采集、自动反馈、自动读数、精度高、稳定性好、柔性测头接触式定位的方式无需量块与平晶研合来、操作简单。

发明内容

本实用新型为了弥补以往二等量块的检定装置存在的缺点，提供一种二等量块接触式激光干涉仪，来达到对二等量块检定精度高、自动控制、操作简单、方便、稳定性好的目的。

该装置包括激光干涉系统、定位计数系统、环境参数测量系统和计算机，其中激光干涉系统连接定位计数系统，定位计数系统和环境参数测量系统同时连接计算机。激光干涉系统包括He-Ne激光器、激光稳频器、第一转向棱镜、光栏、准直光管、第二转向棱镜、移相分光镜、参考镜、转向镜、测量棱镜、光电控制测力稳定传感器、测头，He-Ne激光器连接激光稳频器，激光稳频器水平前方设有第一转向棱镜，第一转向棱镜竖直下方依次设有光栏、准直光管、第二转向棱镜、移相分光镜、参考镜，第二转向棱镜左右水平分别设有两个定位计数系统中的第一光电转换器，移相分光镜水平一侧设有转向镜，转向镜竖直下方依次设有定位计数系统中的定位控制器、测量棱镜、光电控制测力稳定传感器和测头，与移相分光镜设有转向镜相对的一面水平设有定位计数系统中的第二光电转换器。光电控制测力稳定传感器，包括平行簧片、光挡、光电管、测杆、光电管架，光电控制测力稳定传感器内部由下往上依次固定平行簧片、光挡、光电管，其中，平行簧片和光挡固定在测杆上，测杆用于连接测量棱镜和测头，光电管固定在光电管架上，光电管架固定在光电控制测力稳定传感器内壁上。定位计数系统中光电转换器连接相位调整模块，相位调整模块的另一侧分别连接干涉条纹整数计数板和干涉条纹小数计数板，干涉条纹整数计数板和干涉条纹小数计数板的另一端连接计算机，计算机的输出端分别连接驱动电机和定位控制器，驱动电机和定位控制器的另一端连接激光干涉系统。环境参数测量系统中温度传感器、湿度传感器和气压传感器分别连接计算机。

该实用新型采用的计算机软件是配合量块激光干涉仪进行二等标准量块测量为目的进行设计编写的，界面直观，操作简单，是以Windows98为工作平台，采用Microsoft Visual Studio开发包套件，综合应用了ActiveX、OCX和动态链接库技术，完成对系统中激光干涉仪数据信号的采集控制、接触式测量头自动定位的控制、环境条件参数的自动采集和补偿控制、测量结果数据的处理显示和打印输出，实现了二等标准量块的直接自动测量。